판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton #9294937
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ID: 9294937
빈티지: 2007
In-line aqueous cleaner
Conveyor, 30"
DI Water cabinet
(2) 15 HP Wash motors
(2) 25 HP Dry blowers
Breaker, 34 A
Drip pan
Power supply: AC 460 V, 125 A
2007 vintage.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton은 가장 까다로운 웨이퍼 처리 요구에 이상적인 솔루션입니다. 이 고급 장비는 패턴화, 흡착, 퇴화에 이르기까지 최적의 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 제품은 매우 자동화되어 있으며 다양한 고급 제어 기능을 갖추고 있습니다. TREK Triton은 공정 실과 청소실의 두 가지 주요 섹션으로 구성됩니다. 프로세스 챔버 (Process Chamber) 에는 웨이퍼 및 프로세스 컴포넌트 이동을위한 자동 컨베이어 시스템 (Conveyer System) 과 자동화된 공구 및 로드 시스템이 포함되어 있습니다. 자동 컨베이어 (automated conveyer) 장치는 다양한 공구 시스템과 기판 크기를 처리하기 위해 연속 (continuous) 및 정지 (stop-and-go) 동작을 모두 수행할 수 있습니다. 자동화된 공구 시스템에는 UV, 레이저, 전자 도금 시스템이 포함되며, 대규모 생산을 위해 다양한 로딩 시스템을 변경할 수 있습니다. "클리어룸 '에는" 웨이퍼' 처리 를 위한 일관성 있게 깨끗 한 환경 을 보장 하기 위한 균일 한 조명 과 배기 장치 가 혼합 되어 있다. WESTEK Triton에는 Cleanroom의 온도, 습도 및 입자 수를 제어하는 소프트웨어가 장착 될 수도 있습니다. 또한, STOELTING Triton은 고급 프로세스 모니터링 및 도량형 시스템을 통해 웨이퍼 프로세스를 실시간으로 모니터링합니다. 이 기계는 프로세스에 대한 직접적인 피드백을 제공하도록 설계되어 운영자가 신속하게 반응하고 웨이퍼 (wafer) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고급 로봇 공학을 사용하여 포토 esist, 갈륨 비소 (gallium arsenide) 및 기타 특수 재료를 포함한 다양한 웨이퍼 재료를 처리합니다. 트리톤 (Triton) 은 모든 표준 웨이퍼 형상을 처리 할 수 있으며 진공 처리, 에칭, 유전체 장치 등 다양한 공정 챔버에서 사용할 수 있습니다. 마지막으로 STOELTING/TREK/WESTEK Triton은 웨이퍼 처리를 제어, 모니터링 및 분석하기위한 고급 소프트웨어 자산을 제공합니다. 이 모델은 웨이퍼 프로세스를 패턴화 (patterning) 에서 흡착 (adsortion) 에서 탈화 (deglazing) 로 제어 할 수 있습니다. 기판을 분석하고, 프로세스 결과를 분석하고, 인벤토리 및 공구 설비 등을 추적하는 데 사용할 수 있습니다. 전반적으로 TREK Triton은 최고의 프로세스 제어, 고급 도량형 및 고급 로봇 공학을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 가장 까다로운 웨이퍼 처리 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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