판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #9008264

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV는 웨이퍼 제작을 위해 설계된 고품질의 산업 등급 공정 장비입니다. 이 시스템은 오늘날의 반도체 웨이퍼 (wafer) 처리 요구를 충족하는 완벽한 자동화, 모듈식, 유연한 솔루션입니다. TREK Triton IV는 화학 기계 평면 화 (CMP), 화학 증기 증착 (CVD), 확산, 에치, 이온 임플란테이션, 리소그래피, 해저, 도량형, 플라즈마/진공 증착, 스핀 온 유전체 및 웨이퍼 프로브에 사용될 수 있습니다. 또한, 이 장치는 최대 클린 룸 클래스 1 (Class 1) 의 환경에서 작동하도록 설계되어 까다로운 프로세스에 적합합니다. WESTEK Triton IV는 강력한 통합 제어 머신 (Control Machine) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 도구를 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 제어 에셋 (control asset) 은 개방형 표준 (open standard) 을 기반으로 제작되어 다양한 소프트웨어 패키지와 함께 사용할 수 있습니다. 통합 제어 모델은 프로세스 추적을 적극적으로 관리하는 포괄적인 단계별 프로세스 흐름 제어 (flow control) 를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수 (process parameter) 가 프로세스 전체에서 정확하게 유지되므로 신뢰성이 높고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 또한 최대 5 개의 프로그래밍 가능한 셋포인트 (setpoint) 를 제공하며, 이를 통해 사용자는 프로세스 결과를 최적화하기 위해 화학 및 물리적 프로세스 조건을 정의 할 수 있습니다. STOELTING Triton IV는 다양한 환경 및 시스템 모니터링 기능을 제공합니다. 여기에는 온도 조절 환경 (사용 중인 레시피 유형에 따라 조정 가능한 선택 가능한 세트 포인트) 이 포함됩니다. 이 장치는 또한 실시간 프로세스 모니터링 (real-time process monitoring) 을 사용하며, 통합된 가스 감지 기능을 통해 사용자가 사용 중인 응용 프로그램에 맞게 프로세스 조건을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 Triton IV에는 경보 시스템 (alarm system) 및 수동 무시 (manual override) 를 포함한 여러 안전 기능이 포함되어 있어 예상치 못한 프로세스 이벤트가 발생할 경우 사용자 안전을 보장합니다. 이 기계는 200mm ~ 300mm 범위의 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었습니다. 풀 웨이퍼 프로세싱을위한 내부 진공 매니 폴드, 스플릿 웨이퍼 프로세싱을위한 최대 12 개의 개별 프로세스 모듈이 장착되어 있습니다. 또한 로드 잠금 (load lock), 사전 정렬 (pre-aligner), 사후 정렬 (post-aligner) 을 포함한 대부분의 표준 프로세스 챔버와 호환됩니다. 마지막으로 STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV 는 다양한 서비스/지원 패키지를 제공하므로 설치, 운영, 유지 보수, 수리 등에 필요한 기술 지원을 받을 수 있습니다.