판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #124847

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV는 반도체 웨이퍼의 고급 연구 및 생산을 위해 설계된 모든 기능의 웨이퍼 처리 장비입니다. 자동 (automated) 및 수동 (manual) 컨트롤을 조합하여 다양한 웨이퍼 크기, 모양, 재료를 처리할 수 있습니다. TREK Triton IV는 충전, 청소, 로드 및 웨이퍼 언로드를위한 모듈이 포함 된 완전히 통합 된 컴퓨터 제어 웨이퍼 처리 워크스테이션입니다. Wafer 처리 상태를 모니터링하고 적절한 데이터를 저장할 수 있는 고급 데이터 로깅 시스템이 있습니다. 이 장치는 아노디 화 된 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었으며, 부드럽고 안정적인 웨이퍼 운송을위한 윤활유, 밀폐 된 공기 베어링 트랙을 포함합니다. WESTEK Triton IV에는 다양한 웨이퍼 충전 옵션이 있습니다. 여기에는 웨이퍼를 제자리에 보관하기위한 정전기 척 (electrostatic chuck) 과 2 개의 정전기 방전 시스템이 포함됩니다. 대기 중 오염 물질에 노출시키지 않고 웨이퍼를 빠르게 충전하기위한 하중 잠금 챔버 (load-lock chamber) 가 장착되어 있습니다. 챔버에는 깨끗한 처리를 위해 내부 플라즈마 클리닝 머신 (in-situ plasma cleaning machine) 도 포함되어 있습니다. Triton IV의 난방 도구는 조정 가능한 온도 범위와 빠른 열 순환 시간을 특징으로합니다. 매우 균일하고 정확한 온도 조절을 통해 설계되었으며, 이를 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 공정이 가능합니다. 또한 안전을 위해 통합 비디오 모니터와 불꽃 탐지기가 포함되어 있습니다. STOELTING Triton IV는 자동 웨이퍼 로드 및 언로드 기능도 제공합니다. 정밀도로 웨이퍼를 정확하게 식별, 정렬, 처리하는 통합 자동 웨이퍼 추적 (Automatic Wafer Tracking) 자산이 장착되어 있습니다. STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV의 고유 한 기능은 처리 정확도를 높이기위한 선택적 웨이퍼 그립 메커니즘입니다. TREK Triton IV는 고급 연구 및 제작 환경에 적합한 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 견고한 구조로 인해 가장 힘든 웨이퍼 (wafer) 요구 사항조차도 쉽게 처리 할 수 있습니다.