판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9007161
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ID: 9007161
SMT system
Stainless steel mesh belt, 18" usable
Upper and lower prewash spray bars from 10 HP heated wash pump
(4) Upper and (4) lower wash spray bars from same 10 HP heated wash pump
Stage 1:
Upper SST Airknife and SST lower Airknife supplied by first 15 HP blower in dry section
Stage 2:
Wet isolation with upper and lower spray bar from 10 HP heated rinse pump
Stage 3:
SST upper Airknife and SST lower Airknife from first 15 HP blower in dry section
(3) Upper and (3) lower spray bars from 10 HP heated rinse pump
Upper and lower final rinse spray from DI supply
15 HP Turbine blower with (2) upper and (1) lower SST Airknives
15 HP Turbine blower with (2) upper and (2) lower SST Airknives
Upper IR heater penel with temperature controller
460 V, 3 phase, 180 A.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL은 고급 반도체 제조 작업을 위해 특별히 설계된 종합적인 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 4 축 회전 테이블, 한 번에 최대 10 개의 웨이퍼를위한 도킹 스테이션, 웨이퍼 표면의 현장 검사를 위해 특허를받은 웨이퍼 감지 기술 (wafer detection technology) 이 있습니다. 최고 효율성과 처리량을 위해 설계된 TREK Triton IV MIL 은 최첨단 기술을 활용하여 자동화된 웨이퍼 열 처리 기능을 제공합니다. 회전 테이블은 웨이퍼의 회전을 허용하며, 가열을 정확하고 반복적으로 제어합니다. 도킹 스테이션 (Docking Station) 에는 웨이퍼 온도를 지속적으로 모니터링하고 각 사이클 내내 균일하게 유지되도록 온도와 압력 센서가 장착되어 있습니다. 특허받은 웨이퍼 감지 기술에는 와퍼 표면을 스캔하고 이상을 감지하는 포토 다이오드 센서 및 LED (light-emitting diode) 배열이 포함됩니다. 이 장치는 다양한 사용자 정의 옵션 (customization options) 으로 설계되어, 프로세싱 매개변수를 세밀하게 조정하여 특정 요구 사항과 목표에 부합하도록 합니다. 여기에는 거의 모든 웨이퍼 (wafer) 건설 요구 사항을 충족하는 다양한 재료와 가스가 포함됩니다. WESTEK Triton IV MIL 의 유연성을 통해 사용자는 이 프로세스를 특정 제품 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 Triton IV MIL (Triton IV MIL) 은 자동화된 데이터 기록, 분석 및 머신 모니터링 기능을 제공하여 툴 성능 및 정확도에 대한 귀중한 정보를 제공합니다. 온도 및 압력 센서의 데이터는 프로세스 전반에 걸쳐 기록되고 분석 (analyged) 되어 온도 균일성 (temperity uniformity) 과 프로세스의 불일치 (discrepancies) 또는 차이 (differances) 에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 시스템 모니터링 (Systems monitoring) 기능은 자산의 지속적인 피드백을 제공하여 최적의 성능, 정확성, 안심할 수 있습니다. STOELTING Triton IV MIL은 웨이퍼 처리 시스템의 정점을 나타내며 뛰어난 성능, 유연성, 정확성 및 데이터 관리 기능을 제공합니다. 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하는 기능을 갖춘 이 종합 모델은 고급 반도체 제조 (advanced semiconductor manufacturing) 작업에 귀중한 도구입니다.
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