판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #9205019
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STOELTING/TREK/WESTEK Triton I 웨이퍼 처리 장비는 저장 에너지 및 이더넷 제조, TREK 및 WESTEK에서 개발 한 강력하고 자동화된 기술입니다. 고급 웨이퍼 처리 기능 (Wafer Processing) 과 통합 처리 솔루션 (Integrated Handling Solution) 을 통해 최고 수준의 운영 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 최대 처리 속도 (Throughput Speed) 를 달성하고, 집적 회로, 평면 패널 디스플레이, 고급 장치 기술을 위한 엄격한 프로세스 제어를 위해 최적화되었습니다. 이 시스템에는 최첨단 유연한 웨이퍼 처리 기술이 탑재되어 있습니다. 고급 웨이퍼 처리 솔루션에는 소형 척 (chuck) 과 통합 센서 (integrated sensor) 가 장착 된 웨이퍼 로딩 플랫폼이 포함되어 있어 정밀 처리가 가능합니다. 플랫폼에 장착 된 인시트 (in-situ) 포탑은 삽입 후 웨이퍼를 자동으로 식별하여 챔버에 방향을 지정합니다. 또한 인코더 기반 장치를 통해 실시간 챔버 위치 피드백을 제공합니다. 이 기계는 또한 빠른 어닐링, 현장 산화 에치 증착 (OED), PECVD 및 핫 월 AMI를 포함한 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. -50 'c ~ 1200' c 범위의 온도에서 작동 할 수 있으며, 작동 중 낮은 누수 전류를 보여주는 최대 6,912 개의 유전층 및 도펀트 수준을 지원하는 프로세스 온도를 허용합니다. TREK Triton I에는 모든 안전 및 엔드 포인트 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 고급 제어 (Advanced Control) 및 모니터링 (Monitoring) 툴을 통해 사용자는 모든 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있어 가장 높은 프로세스 수율을 보장할 수 있습니다. 여기에는 사용자 지정 메트릭을 기반으로 온도, 압력, 대기 수준을 조정하는 기능이 포함됩니다. 또한 이 기능을 사용하면 다운타임 단축과 결함이 있습니다. WESTEK Triton I 웨이퍼 처리 (wafer processing) 자산은 통합 처리 솔루션 및 고급 웨이퍼 처리 기능을 통해 최고 수준의 생산 처리량을 창출하도록 설계된 강력하고 완전하게 자동화된 기술입니다. 이 제품은 사용 가능한 최첨단 자료 (Advanced Materials) 와 프로세스를 사용하여 제작되었으며, 사용자가 안정적이고 효율적인 생산 솔루션을 통해 최대의 수율을 보장하기 위해 필요한 모든 도구를 제공하도록 설계되었습니다.
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