판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #129982
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ID: 129982
Aqueous board cleaner
Maximum board size: 14"
Stainless steel recirculation plumbing
High pressure / high volume stainless pumps
Centrifugal high pressure blower
230 VAC, 130 Amps.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton I은 마이크로 및 나노 스케일 MEMS 장치, 광전자 및 기타 고정밀 구성 요소의 최첨단 제작을 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 독특한 "쿡-칠 (cook-chill)" 프로세스를 특징으로하여 제조 공정 전반에 걸쳐 열 및 화학 공정의 전달을 정확하게 제어 할 수 있습니다. TREK Triton I은 또한 반도체 웨이퍼 (반도체 웨이퍼) 에서 유리 기판 (glass 기판) 까지 다양한 기판에서 최적의 성능을위한 다양한 웨이퍼 크기와 증착, 에칭 또는 조합 처리를위한 여러 가지 공정 챔버를 제공합니다. 최신 웨이퍼 처리 소프트웨어를 갖춘 WESTEK Triton I은 간편한 탐색 기능을 갖춘 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 고급 제어 알고리즘 (Advanced Control Algorithm) 을 사용하면 쉽게 설정하고 작업을 수행할 수 있으며, 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의 명령과 레시피를 추가할 수도 있습니다. 이 장치의 자동 챔버 (Automate Chamber) 및 가스 전달 시스템 (Gas Delivery System) 을 통해 운영자는 프로세스와 기판을 신속하게 전환하여 시간과 비용을 절약 할 수 있습니다. 트리톤 I (Triton I) 의 통합 자동 정렬 및 웨이퍼 인식 시스템 (Wafer Recognition System) 은 처리 속도 및 최적 정밀도를 제공하는 반면, 강력한 스캔 및 이미지 캡처 머신은 완성 된 재료를 매우 정밀하게 검사 할 수 있습니다. 이 도구에는 통합 진공 자산이 포함되어 있어 빠르고, 안전하며, 깨끗한 작동이 가능합니다. STOELTING Triton I은 공정 챔버 크기가 크기 때문에 광전자 (optoelectronics) 및 기타 대규모 부품을 제작하는 데 특히 유용합니다. 약실은 작은 밀봉 또는 밀봉되지 않은 기질 (최대 기판 크기 300mm) 까지 다양한 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한 통합 플라즈마 에칭 기능과 반응성 이온 및 플라즈마 강화 된 화학 증기 증착이 특징입니다. 이러한 모든 기능을 통해 STOELTING/TREK/WESTEK Triton I은 기존 및 맞춤형 제작 요구를 모두 처리할 수 있습니다. TREK Triton I은 MEMS 센서, 광학 구성 요소, MEMS 액츄에이터 및 고급 MOEMS (optical micro-mechanical system) 의 제작과 같은 응용 프로그램에 대한 최고 수준의 정밀도를 제공합니다. 이 제품은 매우 빠르고 안정적으로 설계되어, 제조 주기 (Fabrication Cycle) 와 높은 처리 속도 (Throughput Rate) 를 최적화할 수 있습니다. 동시에, 혁신적인 기술은 사용자에게 최고의 안전성, 뛰어난 반복성, 사용자 친화적 운영을 제공합니다. WESTEK Triton I은 웨이퍼 처리 시스템에서 궁극적 인 것을 찾는 사람들에게 답입니다.
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