판매용 중고 STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL #9267754

STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MILL은 MEMS (마이크로 전기 기계 시스템) 및 MEMS/CMOS (보완 금속-옥사이드-반도체 설계) 를 포함하여 복잡한 장치 애플리케이션에 대한 다양한 웨이퍼 처리 요구를 충족하도록 설계된 반도체 웨이퍼 처리 장비입니다. TREK Triton 221 MIL은 최대 8 인치/200mm 직경의 웨이퍼를 마스킹하고 에칭할 수 있으며, 광범위한 고급 기술 개발 및 생산 프로세스의 핵심 부분입니다. WESTEK Triton 221 MIL은 엔진, 전원 공급 장치 및 컨트롤러 모듈을 갖춘 메인 캐비닛과 맞춤형 진공 시스템을 포함하는 챔버 (chamber) 로 구성됩니다. 이동식 (movable) 부품의 탁월한 정확성과 반복성을 제공하면서 최대 200mm까지 웨이퍼를 처리 할 수있는 대형 로봇 로더가 장착되어 있습니다. 장치 제어는 모든 주요 컴퓨터 기능에 쉽게 액세스할 수 있는 "직관적인" GUI (Graphical User Interface) 를 갖춘 PC 인터페이스를 통해 수행됩니다. 또한 다양한 통합 프로세스 옵션을 통해 다양한 반도체 디바이스 처리 (device processing) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. Triton 221 MIL은 RIE (Reactive Ion Etching) 및 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 를 포함한 다양한 에치 옵션으로 뛰어난 성능을 제공합니다. 이들은 더 높은 온도와 더 높은 정밀도 (1 Angstrom 해상도까지) 에서 최대 1 미크론/분까지의 에칭 속도를 제공합니다. 에칭 공정은 공정 에칭에 공정 가스 (process gase) 와 완전 프로그래밍 가능한 바이어스 전압 (bias voltage) 을 사용하므로 균일성이 뛰어난 복잡한 모양을 식각 할 수 있습니다. STOELTING Triton 221 MILL과 통합된 마스킹 리소스 (옵션) 는 MEMS 및 MEMS/CMOS 구조 모두에 대한 웨이퍼를 효율적으로 마스킹할 수 있도록 설계되었습니다. 자동 정렬 에셋이 특징이며, 이 에셋은 photoresist 재료의 일관된 적용을 위해 마킹 도구를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 마스킹 모델에는 에칭 전에 원치 않는 포토 esist를 제거하는 DVD 자동 스크래핑 기능이 포함되어 있습니다. STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL (STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL) 은 다양한 안전 센서를 사용하여 차단 조건을 감지하고, 설정 지점을 초과하면 장치를 자동으로 차단하는 챔버 압력 모니터링 장비로, 또한 유지 보수 프로그램 (Maintenance Program) 이 포함되어 있는데, 이 프로그램은 주기적 간격으로 경고 메시지 (Alert Message) 를 스케줄링하거나 설정하여 장치가 정상 작동 순서로 유지되도록 합니다. 전반적으로, TREK Triton 221 MIL은 반도체 웨이퍼 처리 기계로서 훌륭한 선택이며, 복잡한 장치 응용 프로그램에 정확하고 안정적인 에칭 및 마스킹 프로세스를 제공합니다. 이 도구는 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며, 마스킹 리소스 (옵션) 는 MEMS/CMOS 개발 및 프로덕션 프로세스에 이상적인 선택입니다.