판매용 중고 SSP FPS-7000 #9256432

SSP FPS-7000 장비 (SSP FPS-7000 Equipment) 는 대용량 생산 요구의 효율적이고 안정적인 온보드를 위해 설계된 소형 웨이퍼 처리 시스템입니다. 모든 클리닝 룸 (Cleanroom) 환경에 필요한 모든 도구와 기능을 제공하며, 모듈식 (Modular) 구성은 다양한 작업에 적합한 다용도 도구입니다. FPS-7000은 2 개의 프로세싱 챔버와 주 로드/언로드 영역으로 구성됩니다. 각 챔버에는 입자 속도가 매우 낮은 Class 10 클린 룸 호환 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 이 챔버에는 작동 용 터치 패드, 원격 제어 액세스 (Remote Control Access) 및 웨이퍼를 쉽게 로드 및 언로드할 수있는 컨베이어 벨트 (Conveyor Belt) 옵션도 포함되어 있습니다. SSP FPS-7000 은 동작 (motion) 과 진공 (vacuum) 컨트롤을 결합한 통합 제어 장치로 구동되며, 사용자는 정밀 제어 및 유연성을 제공합니다. 제어기 (Control Machine) 는 프로세스 효율성을 높이고 오류를 최소화하기 위해 다양한 프로그래밍 옵션을 갖추고 있습니다. 또한 이 툴은 다양한 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 및 클리닝 화학 (Cleaning Chemistry) 과 호환되도록 설계되었으며, 특정 환경과 애플리케이션 요구에 맞게 작업을 사용자 정의할 수 있습니다. 온도 조절을 위해 FPS-7000은 완전히 통합 된 관리 자산을 제공합니다. 이 모델은 공기 냉각 (air cooling) 및 액체 냉각 기술을 사용하여 공정 챔버의 정확한 온도를 유지합니다. 또한 열전대 (thermocouple) 장비가 내장되어 있어 변화를 신속하게 처리하고 과열로 인한 산화 (oxidation) 또는 손상 위험을 최소화할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tools) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 작업을 유연하게 수행하고 프로세스 기능을 확장할 수 있습니다. 이러한 도구에는 로봇 암, 포수 팔, 웨이퍼 맵 및 웨이퍼 플립 스테이션이 포함됩니다. 전반적으로 SSP FPS-7000 장치는 매우 효율적이고 유연한 웨이퍼 처리 시스템입니다. 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 기능을 통해 모든 Clean 환경에 이상적인 툴이 됩니다. 이 툴은 특정 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 손쉽게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 즉, 운영 요구 사항의 다양성과 정확성을 극대화할 수 있습니다 (영문).