판매용 중고 SPIRENT TAS8250 #9090486
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SPIRENT TAS8250은 다양한 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 Other Wafer Processing 장비입니다. 고급 다중 축 동작 장치 (multi-axis motion unit), 완전 통합 프로세스 챔버 (fully integrated process chamber) 및 웨이퍼 형상 측정을위한 강력한 광학 머신을 갖춘 모듈식 시스템입니다. 또한이 도구에는 프로그래밍 가능한 웨이퍼 핸들러, 전송 모듈, 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 가 있으며, 이를 통해 사용자는 처리 작업을 완전히 제어할 수 있습니다. 에셋은 고정밀 개별 웨이퍼 또는 일괄 처리 작업을 위해 설계되었습니다. 직경이 최대 400mm (15.75 인치) 인 웨이퍼를 200mm보다 큰 직경이 ± 3 미크론이고 m 다각형 (직사각형, 육각형, 사다리꼴) 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 픽앤 플레이스 (Pick and Place) 작업을 위한 이중 축 선형 동작 제어 모델로, 다양한 모양과 크기의 웨이퍼를 수용합니다. 고해상도 카메라와 LED 표시줄로 구성된 고급 광학 장비 (Advanced Optical Equipment) 는 웨이퍼 형상의 전체 색상 검사 및 크기, 두께, 너비 등의 프로세스 매개변수를 제공합니다. 또한 압력, 온도, 습도를 제어하기 위해 완전히 통합 된 공정 챔버 (process chamber) 는 금속 필름, 분말, 입자와 같은 비표준 물질을 환경 친화적으로 처리합니다. 이 시스템은 또한 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD), 무전기도금 및 전기 도금을 포함한 광범위한 액체 공정과 호환됩니다. TAS8250은 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 통합 소프트웨어에는 장치를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 또한 자동화된 프로세스 추적 시스템 (Automated Process Tracking Machine) 을 사용하여 제조 프로세스의 문제 해결 및 모니터링을 용이하게 합니다. 이 툴은 데이터 스토리지, 검색, 보고서 생성, 원격 액세스 등 다양한 데이터 로깅, 로깅, 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로 SPIRENT TAS8250은 다양한 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고급, 사용자 친화적 인 자산입니다. 고급 모션 컨트롤 모델 (Motion Control Model), 완전 통합 프로세스 챔버 (Process Chamber) 및 강력한 광학 장비를 갖추고 있어 재료 처리 시 최적의 제어 및 정확성을 보장합니다. 또한, 이 시스템의 사용자 친화적인 소프트웨어 및 데이터 관리 (data management) 기능은 재료 처리를 위한 효율적이고 안정적인 플랫폼을 제공합니다.
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