판매용 중고 SONOMAXS MH2014D / FC2025 #9296306

SONOMAXS MH2014D/FC2025는 집적 회로, MEMS (micro-electro mechanical system) 및 박막 광학 부품 생산을 위해 설계된 다기능, 다중 응용 프로그램, 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 그것은 최소 주변 오염으로 실리콘, 갈륨 비소, 다결정 실리콘 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 시스템의 주요 구성 요소에는 Substrate 전송 장치, 기판 핸들러, 메인 프레임, 웨이퍼 캐리어 및 광학 투영/노출 기계가 포함됩니다. [기판 전달 도구] 는 웨이퍼를 로드 포트에서 기판 핸들러로 이동하도록 설계되었습니다. 3 축 선형 단계를 통해 3 차원에서 정확한 시트와 웨이퍼 위치를 보장합니다. 기판 처리기는 최대 20 개의 웨이퍼 캐리어를 수용 할 수 있습니다. 최대 600 rpm까지 회전 할 수있는 회전 모터가 있습니다. 뿐 만 아니라, 안내판 과 봉인판 은 "웨이퍼 '를 정확 하고 안전 하게 처리 한다. 메인 프레임은 내구성을 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 강화 된 합금 스틸 (stroy steel) 의 조합으로 만들어집니다. 모든 자산 컴포넌트 (asset component) 를 수용하고 있으며, 모델 전체에서 발생하는 열을 방출하고 오염을 방지하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 기판 처리기 및 공정 챔버 전체에서 이동 할 때 웨이퍼를 안전하게 고정시킵니다. 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 처리 및 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 광학 투영/노출 장비는 photolithography, metrology 및 e-beam 노출을 수행하도록 설계되었습니다. sCMOS (Scientific Complementary Metal Oxide Semiconductor) 카메라와 정밀 이미징을위한 광섬유 레이저를 사용합니다. 노출 프로세스는 스캔 제어 소프트웨어를 통해 정확하게 제어됩니다. 또한 광섬유 레이저는 정밀 이미징을위한 강력한 출력을 제공합니다. 마지막으로 시스템은 Windows 기반 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작동합니다. 사전 구성된 프로세스 레시피 (process 레시피) 뿐만 아니라, 특정 산업 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 정의하고 편집할 수 있습니다. 또한 원격 액세스 (remote access) 및 제어 (control) 기능을 통해 시스템 프로세스에 대한 현재 및 원격 모니터링을 수행할 수 있습니다. 결론적으로 MH2014D/FC2025는 집적 회로, MEMS (micro-electro mechanical system) 및 박막 광학 부품 생산을 위해 설계된 다기능, 다중 응용 프로그램, 기타 웨이퍼 처리 도구입니다. 정밀한 이미징 (Imaging) 기능과 신뢰성 있는 작동을 위한 온도, 오염 제어 (Contamination Control) 모델을 갖춘 다용도 자산으로, 광범위한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.