판매용 중고 SONICOR CLDR-70ZFX #148990
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ID: 148990
Vapor degreaser
Solvent boiling point: 1300°F to 2500°F
Includes:
High sump temperature thermostat
High vapor level thermostat
Low level switches
Hi-low pressure switch in refrigeration system
Primary condensing unit
Freeboard chiller condensing unit.
SONICOR CLDR-70ZFX는 다양한 재료의 단일 및 멀티 웨이퍼 처리를 위해 설계된 현장 프로그래밍 가능한 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 인간 감독을 최소화하면서 정확하고 반복 가능한 처리를 제공하도록 설계되었으며, 표준 (Standard) 및 맞춤형 웨이퍼 (Custom Wafer) 처리 응용 프로그램을 모두 지원합니다. 이 시스템의 주요 구성 요소에는 가스 처리를위한 여러 챔버, 진공 챔버 (vacuum chamber) 및 일련의 로봇 암 (robotic arm) 이 포함됩니다. "가스 '처리 실 은 여러 가지" 가스' 와 액체 가 혼합 되어 얇은 "필름 '즉 도금 을" 웨이퍼' 에 증착 시키는 데 사용 되는 곳 이다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 깨끗하고 입자가 없는 환경을 유지하기 위해 진공을 만드는 데 사용됩니다. 일련의 로봇 암 (robotic arm) 은 다양한 챔버 사이에서 웨이퍼를 이동시키고 기판에 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 각 "웨이퍼 '는 가공 중 에 특수" 플래튼' 에 넣어져서 처리 중 에 기질 을 보호 한다. 백금은 또한 공정 중 온도와 압력을 조절하는 데 사용됩니다. 이 장치는 자동화된 컴포넌트 외에도, 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 인체공학적으로 설계된 제어판 (Control Panel) 을 갖추고 있습니다. 이 제어판을 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 제어하고, 패턴화 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. CLDR-70ZFX는 0.1 미크론 정도의 해상도로 서브 미크론 해상도를 달성 할 수 있으며, 패턴 화 된 웨이퍼의 정확하고 일관된 생산을 가능하게합니다. 이 정밀도는 더 나은 구조, 더 높은 수율 및 향상된 장치 성능을 허용합니다. SONICOR CLDR-70ZFX는 안전 기능도 고려하여 설계되었습니다. 이 기계는 이중화된 안전 장치 (예: 백업 전원 공급 장치, 장애 감지 시스템) 로 제작되어 운영자의 안전을 보장하고 장비의 손상을 방지합니다. CLDR-70ZFX automated wafer processing tool은 안정적이고 자동화된 wafer processing 자산을 찾는 사람들을 위한 다용도 및 신뢰성 있는 솔루션입니다. 이 모델은 안정적이고 반복 가능한 박막 증착 (Thin-film deposition) 및 패턴 (Submicron Resolution) 기능을 제공하여 최소한의 인간 감독으로 패턴 화 된 웨이퍼를 정확하고 일관되게 생산할 수 있습니다.
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