판매용 중고 SONGMAO SM-60120ULH #9315465

SONGMAO SM-60120ULH는 산업 및 연구 어플리케이션을 위해 안정적이고 효율적인 생산을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 완전 자동화 되고 융통성 있는" 플랫폼' 으로서, 다양 한 형태 와 크기 로 여러 가지 기판 재료 를 처리 할 수 있다. 이 장치에는 대규모 작업 공간 (workspace) 이 있어 생산 속도를 유지할 수 있는 뛰어난 기판 처리량을 제공합니다. ULH (Ultra-Low Loading Height) 는 기판의 스트레스를 줄여 기판 품질을 향상시킵니다. 이것은 뛰어난 저수준 소음 및 진동 격리 (Vibration isolation) 에 의해 더욱 향상되어 잠재적 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 고정밀 웨이퍼 (wafer) 전송 섀시가 장착되어 있어 와이퍼 및 기판을 정확하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. SM-60120ULH 의 제어 (control) 와 자동화 (automation) 는 고급 모션 제어 플랫폼을 사용하여 가능합니다. 이 최첨단 플랫폼은 온도 조절, 타이밍 (timing), 동작 제어 (motion control), 다양한 모터 매개변수 조정 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구를 다양한 자동/수동 모드로 설정하고 실행할 수 있습니다. 운영 데이터 수집 (Data Collection) 및 분석 (Analysis) 은 다양한 소프트웨어 패키지로 수행되므로, 사용자가 처리된 각 웨이퍼의 품질을 추적하고 모니터링할 수 있습니다. 에셋은 포토레시스트 시스템 (photoresist system), 에칭 시스템 (etching system) 및 기타 프로세스 도구를 포함한 다양한 프로세스 도구를 사용하여 구성할 수 있습니다. 또한이 모델은 EQ 스크러버, 저항 스피너 및 드라이 에처 (dry etcher) 와 호환되므로 추가 유연성이 가능합니다. SONGMAO SM-60120ULH에는 마이크로 프로세싱 기능이 제공되며, 각 프로세스 레시피의 정확한 매개변수를 제어 정확도로 설정할 수 있습니다. SM-60120ULH 는 앞서 언급한 기능 이외에도 여러 안전 장치 (예: 운영 중 민감한 영역을 보호하기 위한 기계식 셔터, 잠재적 위험 (potential hazard) 을 경고하는 광학 안전 눈) 를 갖추고 있습니다. 이 장비는 또한 소프트 스타트업 스위치 (soft start-up switch) 를 통해 작동 충격을 줄이고 장애 안전 스위치를 통해 긴급 상황을 신속하게 차단할 수 있습니다. 전반적으로 SONGMAO SM-60120ULH는 포괄적이고 다용도 웨이퍼 처리 시스템입니다. 다양한 도구와 공정 (process) 을 사용하여 다양한 기판을 처리할 수 있으며, 생산 데이터를 수집, 분석할 수 있어 고성능 산업용 (industrial) 및 연구용 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 완벽한 선택입니다.