판매용 중고 SONEX 300 #9215008

소넥스 300 (SONEX 300) 은 자동 웨이퍼 처리 장비로 집적 회로의 품질을 향상시키는 데 사용됩니다. 높은 처리량, 높은 수익률, 신뢰할 수 있는 프로세스 결과를 제공할 수 있으며, 매우 유연합니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (로봇 로더/언로더, 화학 처리 모듈) 로 구성됩니다. 로봇 로더/언로더는 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 단일 프로세스로 이동할 수 있으며, 최대 3 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼의 처리 및 스핀 처킹 (spin chucking) 을위한 비품과 장벽, 자동 비전 (automated vision) 옵션도 포함됩니다. 화학 처리 모듈에는 화학 목욕, 청소제, 에칭 솔루션을위한 다단 처리 용기가 포함되어 있습니다. 이 목욕탕 들 은 "웨이퍼 '표면 에서" 패턴' 을 입힌 광미술사 를 제거 하는 데 사용 되는 해결책 으로 가득 차 있다. 이 장치는 배치 (batch) 및 인라인 (inline) 작업을 모두 수행할 수 있으므로 프로세스 결과를 보다 유연하게 제어하고 제어할 수 있습니다. 또한 300 대의 기계에는 닫힌 루프 제어 도구 (closed loop control tool) 가 장착되어 있어 웨이퍼 처리 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 자산에는 선택적 온도 조절 건조기 (옵션) 가 포함되어 있으며, 이 건조기는 가공 후 웨이퍼를 건조하는 데 사용됩니다. 이 건조기는 산화를 줄이고 웨이퍼 표면의 오염을 방지합니다. 전반적으로 SONEX 300 웨이퍼 처리 모델은 집적 회로 웨이퍼 제작의 생산 수익률, 성능, 신뢰성을 높이도록 설계되었습니다. 고품질 집적회로를 효율적으로 생산할 수 있는 "고급 장비 '다.