판매용 중고 SIMCO ST-3 #9294471

SIMCO ST-3은 다양한 응용 프로그램에 사용되는 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 인체 공학적으로 설계된 13 인치 LCD 터치스크린 인터페이스를 통해 시스템 및 기능을 쉽게 제어할 수 있습니다. 로드 포트 장치 (load port unit) 를 사용하여 한 번에 시스템에서 최대 3 개의 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수 있습니다. ST-3은 시간당 최대 300 개의 2 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 대용량 생산에 적합합니다. 또한 2 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기와 최대 300 äm의 다양한 두께를 처리 할 수 있습니다. 또한, 다양한 레시피 셋업 툴 (레시피 셋업 툴) 을 통해 고객은 특수한 요구 사항에 맞게 프로세싱을 사용자 정의할 수 있습니다. SIMCO ST-3에는 2 개의 격리 시스템 (로드 포트 및 처리 챔버) 이 장착되어 있어, 프로세스 실행 사이의 챔버 벽과 표면을 우월하게 청소할 수 있습니다. 이를 통해 자산의 성능과 최종 제품의 품질이 더욱 향상됩니다 (영문). ST-3은 또한 샘플 온도, 빔 종, 빔 각도, 빔 전류, 래스터 편향 등 다양한 측정 매개 변수를 갖춘 고해상도 이온 빔 모니터를 갖추고 있습니다. 이를 통해 SR-25 폐쇄 루프 (closed-loop) 원자로와 함께 실시간 피드백을 통해 매개변수를 정확하고 정확하게 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 이 모델은 비상정지 (Emergency Stop), 인터 록 (Interlock) 및 안전 장치 (Safeguard) 와 같은 다양한 안전 기능으로 더욱 보완됩니다. 이 장비는 빠른 웨이퍼 (wafer) 언로딩을 제공하며 효과적인 웨이퍼 하이드로 라드 (wafer hydrylad) 공정을 통해 웨이퍼의 냉각 및 건조를 효율적으로 보장하고 입자를 최소화하고 시스템의 구성 요소와 최종 제품의 품질을 보호하는 데 도움이됩니다. SIMCO ST-3 Wafer Processing Unit은 대량 생산 응용 프로그램뿐만 아니라 연구 개발에 적합합니다. 견고하고 최소한의 유지 보수가 필요한 신뢰할 수있는 기계입니다. 최첨단 제품 성능과 우수한 품질을 자랑하는 "와퍼 (Wafer) 처리 시스템 '중 하나다.