판매용 중고 SIMCO CR 2000 #293616117

SIMCO CR 2000은 열산화물 (thermal oxide) 과 화학적 산화물 제거 (chemical oxide removal) 라는 두 가지 공정을 통해 웨이퍼를 인큐베이트하고 에치하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 제어를 극대화하고 처리량을 높여 초정밀 (Ultra-Precision) 프로세싱이 포함된 어플리케이션에 적합합니다. CR 2000 (CR 2000) 에는 캐러셀 기법 (carousel technique) 이 있습니다. 이 기계는 열 산화물 에칭에 사용되는 온도 조절 석영 튜브를 특징으로합니다. 이 기계 는, 안정 된 온도 를 유지 하여, 산화제 간 의 바람직 하지 않은 반응 을 방지 함 으로써, 깨끗 한 산화 기능 을 가지고 있다. SIMCO CR 2000의 화학 산화물 제거 장치 (chemical oxide removal unit) 는 고급 목욕 환경을 사용하여 웨이퍼의 일관성 있고 안전한 처리를 보장합니다. 목욕은 고급 계면 활성제를 사용하여 유기 및 비 유기 오염 물질을 제거하고 웨이퍼를 부식 성 손상이 없도록 유지합니다. 목욕에서 발생하는 연기와 방출 (emission) 의 효과적인 처리 (handling) 도 모니터링하고 관리하여 안전한 작업 환경을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 프로세스의 각 단계의 프로세스 데이터를 자동으로 캡처할 수 있는 고급 DAQ (Data Acquisition) 모듈이 있습니다. 이 DAQ 도구는 압력, 온도, 목욕 농도 값과 같은 매개변수를 저장, 표시, 분석할 수 있습니다. 이 데이터는 예측 유지 관리 및 프로세스 최적화에 사용될 수 있습니다. 마지막으로, CR 2000은 최적화된 신뢰성을 제공하는 단순화된 설계를 제공합니다. 스핀들 레이아웃 (spindle layout) 은 진동을 줄이고 진동을 최소화하여 더 높은 웨이퍼 처리량을 가능하게 하는 데 사용됩니다. 자동화된 프로세스 제어 자산 (process control asset) 은 빠른 속도로 일관되고 균일한 에칭을 제공하여 인건비를 절감하고 생산성을 높입니다.