판매용 중고 SIMCO Aerostat XC #9283565

SIMCO Aerostat XC는 광범위한 어플리케이션에 적합한 강력하고 다양한 웨이퍼 처리 장비입니다. 에어로스타트 XC (Aerostat XC) 는 웨이퍼 (wafer) 품질 및 생산 수익률의 균일성을 위해 열주기 (thermal cycle) 의 시작부터 끝까지 웨이퍼 처리에 대한 완전한 열 순환 제어를 제공하는 멀티 탱크 시스템입니다. 이 장치에는 여러 개의 탱크가 장착되어 있으며, 각각 온도, 압력, 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 다양한 고급 기능을 갖춘 SIMCO Aerostat XC는 초저류 (ultra-low flow), 고질량 플럭스 열 흐름 (high mass flux thermal flow), 정교한 유체 시뮬레이션 기능 등 탁월한 성능을 제공합니다. Aerostat XC의 설계로 고정밀 웨이퍼 처리가 가능합니다. 이 기계 에는 각 가공 "탱크 '내 의 온도, 압력, 대기 를 정확 하게 조절 하는 데 사용 되는" 디지털' 비례 "밸브 '가 장착 되어 있다. 비례 밸브는 전체 온도 (temper) 작동 범위에서 안정적인 온도/압력 관계를 유지할 수 있습니다. 또한 SIMCO Aerostat XC (SIMCO Aerostat XC) 에는 각 프로세스의 타이밍 시퀀스를 최적화하는 자동 제어 도구 (automated control tool) 가 있으며 흐름 속도와 같은 열 흐름 매개변수가 프로세스 전체에 균일하게 유지되도록 합니다. 아에로스타트 XC (Aerostat XC) 는 또한 공정 주기 동안 기판의 열 프로파일을 정확하게 제어 할 수있는 다양한 고급 열 시뮬레이션 (advanced thermal simulation) 기능을 갖추고 있습니다. 열 시뮬레이션 기능을 통해 SIMCO Aerostat XC는 프로세스 성능에 가장 큰 영향을 미치는 특정 웨이퍼 (예: 열 분포, 온도 균일성, 온도 구배) 의 속성을 예측할 수 있습니다. 이를 통해 에셋은 웨이퍼 (wafer) 의 품질을 최적화하는 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. XYZ 통합 시스템 (XYZ Integrated Systems) 은 고급 동적 균형 알고리즘을 구현하여 Aerostat XC의 성능을 더욱 향상시켰다. 동적 균형 알고리즘을 사용하면 SIMCO Aerostat XC가 매우 동적 온도 변경 중에도 필요한 온도 균일성을 자동으로 유지할 수 있습니다. 이것은 주기 시간을 줄이고, 성능을 높이고, 전체 기판에 걸쳐 균일 한 열 분포를 보장합니다. Aerostat XC는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 완벽한 도구입니다. 강력한 기능과 고급 기능을 갖춘 SIMCO Aerostat XC는 효율적이고 고품질 웨이퍼 프로세싱을 위한 필수 솔루션입니다.