판매용 중고 SIMCO Aerostat XC #9214382
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SIMCO Aerostat XC Other Wafer Processing System은 중요한 생산 어플리케이션을 위해 정밀도 및 고수율을 향상시키기 위해 설계된 전문 웨이퍼 처리 시스템입니다. 내장형 제어 소프트웨어를 통해 복잡하고 정밀한 웨이퍼 (wafer) 에칭 및 처리를 위한 논리적 연산 (logical operation) 의 정확한 매핑이 가능하며, 대형 플랫폼은 모든 주요 제조업체의 다양한 웨이퍼를 전송 및 처리 할 수 있습니다. XC는 프로세스 단계에 편리한 액세스를 제공하는 사용자 친화적 인터페이스를 자랑합니다. 통합 프로세스 모니터 (Integrated Process Monitor) 는 프로세스 성능 매개 변수를 지속적으로 추적하고 보고하며, 중요한 편차를 경고하고, 실시간 피드백 및 수정 기능을 제공하여 고품질 디바이스를 자동으로 생성할 수 있습니다. 정확하게 조절 가능한 가스 분포 시스템은 정확한 수직 에칭, 산화물 에칭, 스퍼터 에칭, 쿼츠 및 기타 기질의 에칭 저항을위한 최적의 웨이퍼 에칭 환경을 보장합니다. 이 장치는 또한 박막 (thin film) 및 기타 컴포넌트의 증착을 제어하기 위해 증착율 (deposition rate) 및 기타 매개변수를 정확하게 조정하는 다양한 매개변수를 제공합니다. 이 설계는 기계와 인력을 보호하는 다양한 안전/보안 기능을 갖추고 있습니다. 동봉 된 "컨트롤 '" 모듈' 이 장착 되어 있으며 위험 한 화학 물질 과 기타 물질 의 누출 을 방지 하기 위하여 압력 과 밀봉 을 받도록 설계 되었다. 또한 유해 물질 탐지 센서 및 스파크 탐지 경보 (spark detection alarm) 가 특징이며, 화재 또는 폭발시 최대 안전성을 제공합니다. XC는 인체 공학적, 공간 절약형 디자인으로 제작되어 기존 웨이퍼 처리 장비에 통합됩니다. '조용하고 낮은 유지 보수' 는 소음에 민감한 생산 환경에 이상적이며, 별도의 원자로 실은 업무 효율성을 향상시키고 '교차 오염' 의 위험을 없애 줍니다. 또한 XC 에는 고급 데이터 통신, 데이터 교환, 네트워킹 인터페이스 (예: 이더넷, Profibus, Profinet) 가 장착되어 있어, 디바이스가 운영 라인 또는 회사 네트워크의 다른 시스템과 상호 작용할 수 있습니다. 최첨단 기술을 갖춘 Aerostat XC는 가장 고급 Other Wafer Processing Systems 중 하나입니다. 탁월한 정밀도, 생산량, 향상된 안전 및 보안 기능을 제공하여 최적의 와퍼 (Wafer) 품질과 운영 가동 시간을 보장합니다.
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