판매용 중고 SIMCO Aerostat XC #9166342

SIMCO Aerostat XC는 정확한 비 접촉 증착 코팅, 청소 및 연마를 제공하는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 특허를 획득한 결합 노즐 (combined nozzle) 기술을 사용하여 웨이퍼 또는 기타 기판 표면에서 코팅의 볼륨, 두께, 균일성을 정확하게 제어합니다. 통합 난방 매니 폴드 디자인은 코팅의 균일 한 결합 및 접착을 보장하는 반면, 공기 보조 (air-assist) 기능은 전체 웨이퍼 또는 기판 표면에 걸쳐 고정밀 증착과 균일성을 제공합니다. 이 장치는 비휘발성 용매 (non-volatile solvent) 및 다마신 공정 (damascene process) 을 포함하여 광범위한 재료를 효과적으로 분배하는 고성능 진공 및 이중 채널 유체 전달 기계가있는 대형 난방 매니 폴드를 특징으로합니다. Aerostat XC의 매우 정확하고, 반복 가능하며, 유연한 6 축 로봇 암은 정밀 코팅 및 청소 과정에서 기판 또는 웨이퍼의 일관되고 정확한 움직임을 제공합니다. 처리 전후 웨이퍼를 검사하기 위해 20x 풀 필드 HD 카메라 도구도 제공됩니다. 에셋에는 온도 조절 (temperature control) 및 모니터가 추가되어 지정된 설정 지점에서 안전하고 일관된 작동을 보장합니다. 옵션 컨디셔닝 모델은 장기적인 정밀 제어 및 안정적인 성능을 지원합니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스로 프로세스 조건을 손쉽게 로드하고 모니터링할 수 있는 반면, 원격 (telemetry) 기능 (옵션) 은 주요 장비 매개변수에 대한 원격 모니터링을 제공합니다. SIMCO Aerostat XC는 뛰어난 정확성과 반복성으로 증착 코팅, 청소 및 연마가 가능한 고급 고정밀 웨이퍼 처리 시스템입니다. 복합 노즐 기술, 대형 가열 매니 폴드, 강력한 로봇 암 (robotic arm) 을 갖춘 XC는 전체 웨이퍼 또는 기판 표면에서 균일 한 재료 증착 및 코팅으로 일관된 성능을 제공합니다. 처리 전후 웨이퍼 표면을 검사하기 위해 통합 20x 풀 필드 HD 카메라 장치도 제공되며, 원격 측정 기능 (옵션) 은 시스템 성능에 대한 원격 모니터링을 제공합니다.