판매용 중고 SIMCO Aerostat XC #9006700

SIMCO Aerostat XC (SIMCO Aerostat XC) 는 프로세스 유연성 및 품질 제어를 위한 최고의 표준으로 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조업체와 연구 시설 (Research Facility) 모두에서 다양한 독점 프로세스를 수행하는 데 사용됩니다. 에어로 스타트 XC (Aerostat XC) 는 산화물, 질화물 및 기타 물질의 PECVD 증착과 광범위한 필름의 에칭을 위해 구성 될 수있는 자동 진공 및 플라즈마 처리 장치입니다. 정밀하게 균형 잡힌 진공 및 가스 환경으로 내부 오염 제어 (in-situ contamination control) 를 갖추고 있으며, 입자 생성을 최소화하고 깨끗한 처리 환경을 제공합니다. 이 기계는 전체 웨이퍼 표면에 높은 균일성 플라즈마 (plasma) 를 제공하도록 설계된 고압 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 또한 모든 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 및 챔버 진단 (Chamber Diagnostics) 기능을 갖추고 있으며, 챔버당 최대 4개의 독립된 RF 전원을 독립적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 여러 주파수에서 자산을 작동시켜 프로세스 균일성을 향상시키고 최적화할 수 있습니다 (영문). SIMCO Aerostat XC는 프로세스 제어를 위한 최고의 유연성을 제공합니다. 즉, 전체 실시간 프로세스 모니터링 (real-time process monitoring) 기능을 제공하여 처리 조건을 조정하여 성능을 극대화할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 보다 정교한 데이터 수집 및 제어 기능을 위해 다른 CAD/CAM 소프트웨어와 통합되도록 설계되었습니다. Aerostat XC는 또한 최대 안전을 위해 설계되었습니다. 이 방은 잠재적으로 위험한 플라즈마 조건을 처리하도록 구성되었으며, 밀폐 된 글로 브 박스는 HEPA 필터와 이중 에어 록 장비를 사용하여 오염 물질에 대한 최대 보호 기능을 제공합니다. 또한, 모든 챔버 컴포넌트 및 공정 소프트웨어는 엄격한 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 마지막으로 SIMCO Aerostat XC는 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 최고 품질의 컴포넌트 (component) 및 엔지니어링 표준 (engineering standard) 을 기반으로 하여 가장 효율적이고 재현이 가능한 프로세스 성능과 결과를 제공합니다. 또한, 이 부서에는 서비스 에스컬레이션 (Instant Service Escalation) 을 위한 전담 서비스 엔지니어가 포함된 커밋된 서비스 및 지원 팀이 지원됩니다. 결과적으로 Aerostat XC는 웨이퍼 프로세싱을위한 다용도, 안정성 및 고품질 도구입니다.