판매용 중고 SIMCO Aerostat PC #9329105

SIMCO Aerostat PC는 SIMCO Inc.에서 설계 및 설계 한 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 이중 에치, 플라즈마 에치, 리소그래피 등의 프로세스 개발 작업을 위해 특별히 설계되었습니다. Aerostat PC에는 4 단계 공정 챔버 (process chamber) 가 장착되어 있어 프로세스에서 프로세스로의 신속한 설정 및 전환이 가능합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 또한 짧은 심도 공정 챔버 벽이있는 개방형 디자인과 손쉬운 액세스 및 유지 보수를위한 이동식 상단 어셈블리 (Removable Top Assembly) 를 갖추고 있습니다. 따라서 다른 Wafer Processing System에 비해 빠르고 간단한 설치와 유지 보수가 가능합니다. 또한 SIMCO Aerostat PC는 모든 애플리케이션에 적합한 유연성을 갖춘 다양한 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. 이러한 기능에는 자동 가스 혼합, 압력 제어, 레시피 처리 및 다양한 도량형 옵션과의 레이저 정렬이 포함됩니다. 또한 프로세스 오류 (process error) 로 인한 다운타임을 최소화하는 광범위한 프로세스 프로그램, 자동화된 안전 연결 (safety interlock) 및 통합 진단 기능을 제공합니다. 최고 수준의 프로세스 정확성과 반복성을 제공하기 위해 Aerostat PC는 고급 업스트림 (upstream) 및 다운스트림 (downstream) 프로세스 모니터링을 제공합니다. 여기에는 압력, 온도, 가스 흐름 속도, 증착률과 같은 모든 중요한 웨이퍼 처리 매개변수가 포함됩니다. 이 고급 모니터링 장치 (Advanced Monitoring Unit) 는 프로세스를 제어할 뿐만 아니라 이를 모니터링하여 품질 관리 및 정확성을 보장합니다. 이러한 매개변수는 실시간으로 표시할 수 있으며, 프로세스 레시피 (recipe) 를 즉시 조정하여 최적의 처리 결과를 얻을 수 있습니다. SIMCO Aerostat PC는 또한 안정적이고 효율적인 웨이퍼 레벨 처리 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 로봇 공구 처리 (robotic tooling) 및 자동 배치 (automatic batching) 와 같은 고급 자동화 기술이 통합되어 웨이퍼 처리 주기의 속도 향상, 생산 비용 절감, 기계 가동 단순화 등이 포함됩니다. 모든 프로세스 레시피는 온보드 (on-board) 공구에 저장되며, 숙련 된 인원이 없어도 수백 개의 프로세스 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 또한, 자산은 네트워크에서 사용할 수 있으며, 다른 유형의 장비와 통합될 수 있습니다. Aerostat PC의 이점은 다양합니다. 프로세스 제어를 정확하고, 귀중한 웨이퍼 (wafer) 투자를 보호하고, 다운타임을 최소화하고, 프로세스 개발, 운영 관련 비용을 대폭 절감할 수 있습니다. 또한, 고급 모니터링 기능은 고품질 출력과 직관적인 설계를 통해 안전하고, 효율적이며, 비용 효율적인 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 처리 모델을 제공합니다.