판매용 중고 SIMCO Aerostat PC #9153085
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SIMCO Aerostat PC는 높은 종횡비 미세 구조의 제작을 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 고급, 자체 포함, 폐쇄 루프 시스템 - 용기의 온도, 웨이퍼 속도, 플라즈마 밀도, 전기 자기장과 같은 프로세스 변수를 제어하여 최고의 웨이퍼 처리 결과를 보장합니다. 장치의 핵심은 100 x 100 mm (4 "x4") 플라즈마 챔버이며, 웨이퍼의 단일 면과 이중 면의 넓은 영역 에칭이 가능합니다. 이 기계는 언더/오버 에칭, 방향성 에칭 및 등방성 에칭과 같은 고급 에칭 기법에 적합합니다. 그것의 정밀도는 표면 처리, 편차가없는 마스크 정렬, 고급 표면 처리를 특징으로하는 고급 패턴 (advanced patterning) 모듈에 의해 더욱 향상됩니다. Aerostat PC는 또한 Wafer Processing을 단순하고 효율적으로 만드는 여러 가지 독특한 이점을 제공합니다. 고효율 in-situ 제거 도구는 높은 플라즈마 품질을 유지하고 미립자 오염 가능성을 최소화합니다. 또한, 지능형 제어 (Intelligent Control) 는 가공소재의 위치를 자동으로 재 보정하여 전반적인 정확도와 생산성을 높일 수 있습니다. 자산은 또한 매우 사용자 친화적입니다. 대형 LCD 터치스크린 디스플레이를 통해 웨이퍼 에칭 프로세스를 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 SIMCO Aerostat PC는 안전하고 간편한 작동을 위해 설계되었습니다. 전기 보호 인증을 받았으며 자동 압력 해제 (Pressure Release) 모델이 특징입니다. 전반적으로 Aerostat PC는 안정적이고, 풍부하며, 에너지 효율적인 강력한 웨이퍼 처리 장비입니다. 항공우주국 (Aerospace) 에서 반도체 (Semiconductor) 에 이르는 업종에 이상적이며, 품질 미세구조물을 처리하는 탁월한 플랫폼을 제공합니다.
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