판매용 중고 SHIBAURA / TOKUDA KP4500BG #9386798

SHIBAURA/TOKUDA KP4500BG는 접시, 증착, 제분, 등에 사용되는 다양한 다른 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 프로세싱 챔버 내에 8 개의 기판을 수용할 수있는 수동 로드/언로드 장치 (manual load/unload unit) 와 함께 정확하고 정확한 광 웨이퍼 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계 는 재료 를 "기판 '에 증착 시킬 수 있으며, 매우 정확성 이 높고, 반복성 이 높다. 이것 은 "플라즈마 '증기 증착 머리," 스퍼터링' 머리, 기타 특수 머리 와 같은 여러 가지 증착 "헤드 '를 사용 함 으로써 가능 하다. 각각 다른 용도로 설계되었으며, 매우 정밀하게 다양한 재질과 두께 (thickness) 를 배치할 수 있습니다. TOKUDA KP4500BG (TOKUDA KP4500BG) 는 많은 에칭 재료로 균일 한 에칭 두께를 생성 할 수있는 매우 정밀하게 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 작업은 처리 중인 웨이퍼 (wafer) 의 개별 요구사항에 맞게 에칭 프로세스 매개변수를 조정하여 수행합니다. 공구와 함께 밀링 프로세스 (milling process) 를 사용할 수 있으므로 웨이퍼 서피스에서 재료를 정확하게 제거할 수 있습니다. 전동식 밀링 휠 (Motorized Milling Wheel) 을 사용하여 조정하여 다른 웨이퍼 재료와 두께를 수용합니다. 자산에는 모든 처리 단계에서 높은 정확성을 보장하기 위해 고급 (Advanced) 광 정렬 프로세스가 있습니다. 고해상도로 작동하도록 설계되었으며, 정렬 오류 (Alignment Error) 를 자동으로 인식하고 수정할 수 있습니다. 또한 정렬 (Alignment) 과 포지셔닝 (Positioning) 을 통해 소모되는 시간을 최소화하여 보다 효율적인 워크플로우를 실현할 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로, 모델은 오류 또는 결함에 대한 웨이퍼 검사를 수행 할 수 있습니다. 이것은 고해상도 광학 현미경을 사용하여 수행되며, 이는 이상적인 사양에서 가장 작은 이상 (이상) 과 편차 (편차) 를 감지 할 수 있습니다. 전반적으로, SHIBAURA KP4500BG (SHIBAURA KP4500BG) 는 프로세스의 모든 측면에서 정확성과 정확성을 보장하도록 설계된 여러 기능을 갖춘 고급 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼를 증착하고, 밀링하고, 에칭하고, 검사할 수 있으며, 반복성과 정확도가 높으며, 반도체 업계의 안정적인 파트너가 됩니다.