판매용 중고 SHIBAURA / TOKUDA KP3000BG #9386800

SHIBAURA/TOKUDA KP3000BG는 대용량, 저가형 반도체 생산의 요구를 충족하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 처리 장비입니다. 시스템은 2 단계 웨이퍼 핸들러, 웨이퍼 검사 장치, 웨이퍼 로더 및 언로더로 구성됩니다. 2 단계 핸들러는 풀/스플릿 웨이퍼 (full/split wafer) 를 처리하고 이중 공기 베어링 스테이지로 입자 및 오염 효과를 줄일 수 있습니다. 완전 자동 정렬 기계에는 빠르고 정확한 정렬을 보장하기 위한 실시간 포지셔닝 액추에이터 (real-time positioning actuator) 가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 검사 도구 (wafer inspection tool) 는 전체 웨이퍼 서피스에서 제조 과정에서 발생한 결함을 검사할 수 있습니다. 에셋은 여러 카메라가 장착 된 고해상도 비전 모델을 사용하여 표면 결함을 감지합니다. 디지털 신호 프로세서 (digital signal processor) 는 웨이퍼가 생산에 적합한지 여부에 대한 빠르고 정확한 결정을 위해 사용됩니다. TOKUDA KP3000BG (TOKUDA KP3000BG) 의 웨이퍼 로더 및 언로더 (Unloader) 는 이중 트랙 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 시스템 안팎에서 동시에 웨이퍼를 이동하고 검사 프로세스 내내 올바른 방향으로 유지할 수 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 지름 (wafer diameters) 을 모니터링하여 핸들러에 로드하기 전에 웨이퍼가 허용 가능한 공차 내에 있는지 확인할 수 있습니다. 전반적으로 SHIBAURA KP3000BG는 대용량 생산에서 반도체 웨이퍼를 처리 및 검사하기위한 매우 효율적이고 정확한 기계입니다. 자동 검사 시스템, 고해상도 비전 시스템, 이중 트랙 웨이퍼 (wafer) 로딩 및 언로딩 시스템을 활용하여 생산 과정에서 최고 수준의 정확도, 효율성, 품질 제어를 보장합니다. 이 제품은 대규모 제조 작업에 이상적인 도구이며, 유연성과 신뢰성을 통해 모든 반도체 생산 설비를 위한 완벽한 솔루션이 됩니다 (영문).