판매용 중고 SHENZHEN Octopus 8CX #9396096

ID: 9396096
Ultrasonic cleaning system 2014 vintage.
선전 옥토퍼스 (SHENZHEN Octopus) 8CX는 다양한 어플리케이션에 다양한 기능을 제공하는 종합적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 반도체 제조와 연구개발 (R&D) 을 위한 탁월한 선택이다. 올인원 시스템에는 8 포트 로봇 웨이퍼 핸들러, 열 제어 챔버, 자동 로드/언로드 및 통합 도량형 장치가 포함됩니다. 이러한 하드웨어 조합은 하이엔드 반도체 웨이퍼 생산을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 8 포트 로봇 웨이퍼 핸들러는 기계의 핵심으로, 프로세스의 여러 단계 사이에 효율적이고 정확한 웨이퍼 로드, 언로드 및 로드를 제공합니다. 8 개의 개별 구동 모터는 정밀한 움직임 및 위치를 제공하는 반면, 다양한 센서는 잘못된 정렬을 감지합니다. 공구의 주 챔버 (main chamber) 는 일관되고 정확한 프로세스 환경을 제공하기 위해 열조절됩니다. Probe 어레이는 처리가 불가능한 wafer 영역을 식별하거나, poly-carbon 기반 wafer를 사용하는 경우, 처리에 적용될 수 없는 사전 생성 패치가 있는 영역을 식별합니다. 챔버에는 최대 600 ° C의 온도가 장착되어 있으며 난방 및 냉각 자산이 내장되어 있습니다. Octopus 8CX의 자동 로드/언로드 기능은 Wafer 로드 및 언로드가 빠르고 효율적인지 확인합니다. 표준 FOUP 형식과 호환되며, 한 번에 두 개의 FOUP (FOUP) 를 처리할 수 있으며, 상단뿐 아니라 전면에서도 디스크를 수용할 수 있습니다. SHENZHEN Octopus 8CX의 큰 장점은 통합 도량형 모델입니다. 이렇게 하면, 장비 가 처리 중 과 그 후 에 "웨이퍼 '표면 을 모니터링 할 수 있게 되어, 그 과정 이 일관성 있게 정확 하고 정확 하게 이루어지게 된다. 고밀도 이미지는 최대 5m까지 픽셀 크기 정확도로 웨이퍼 표면 (wafer surface) 을 얻습니다. 요약하면, Octopus 8CX는 고급 웨이퍼 처리 시스템으로, 탁월한 프로세스 효율성, 정확성, 신뢰성 및 상세한 도량형 기능을 제공합니다. 자동 로드/언로드 기능, 정확한 7 축 로봇 웨이퍼 핸들러, 열 제어 챔버 (thermally-controlled chamber) 를 통해 반도체 생산 및 연구 및 개발에 적합한 선택입니다.
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