판매용 중고 SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400 #9211636

ID: 9211636
빈티지: 1994
Batch washer 1994 vintage.
분리 기술자 AQ 400은 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 기판 및 가공 제품의 생산, 취급, 분리를 위한 전용 시스템입니다. 12 인치 웨이퍼 (12 인치 웨이퍼) 와 같은 넓은 영역 기판과 6 인치 웨이퍼 (6 인치 웨이퍼) 와 같은 작은 기판을 포함하여 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. AQ 400 은 여러 특허를 받은 기술과 프로세스를 활용하여 기판 무결성에 영향을 미치지 않고 높은 처리량, 정밀 분리를 제공합니다. 비키-탕겐 (Beakey-Tangen) 메커니즘의 수정 된 버전을 기반으로 한 고급 분리 기술을 사용합니다. 비키-탕겐 (Beakey-Tangen) 메커니즘은 신기하고 정확하게 제어 된 다방향, 마찰이 적은 광학 분리 장치 (optical separation unit) 를 사용하여 넓은 영역 기판과 더 작은 기판을 동시에 분리하도록 설계되었습니다. 이 기계는 웨이퍼 서피스를 정확하고 정확하게 정렬하고, 자동화된, 반복 가능한 프로세스 사이클 (process cycle) 을 가능하게 합니다. SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400 (SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400) 은 일련의 회전 브러쉬 및 고압 공기제트를 사용하여 공정 영역에서 입자 오염을 제거하는 자동 청소 도구로 설계되었습니다. "에셋 '은 또한 일련의" 카메라' 와 "디스플레이 '를 이용 하여 각 기판 을 검사 하는 정밀 시각 검사" 모델' 을 갖추고 있다. 이를 통해 기판의 모든 결함이 추가 처리 전에 식별, 제거 될 수 있습니다. 일관되고 안정적인 분리 성능을 보장하기 위해, AQ 400 은 고급 프로세스 제어 시스템 제품군과 함께 제공됩니다. 여기에는 프로세스 전체에 균일 한 온도를 유지하는 프로세스 레이어 온도 제어 장비 (process layer temperature control equipment) 와 불규칙성 또는 문제에 대한 기판 특성을 지속적으로 모니터링하는 프로세스 모니터 시스템 (process monitor system) 이 포함됩니다. 또한, 이 장치는 하나의 프로세스 존 (process zone) 에서 다음 프로세스 존 (process zone) 으로 웨이퍼와 기판을 전송하는 고정밀 재료 처리 기계로 설계되었습니다. 전반적으로 SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400은 다재다능하고 정밀도가 높은 웨이퍼 처리 및 처리 도구입니다. 첨단 분리/프로세스 제어 시스템 (Advanced Separation and Process Control System) 은 안정적이고 정확한 성능을 제공하는 반면, 옵션 재료 처리 기능을 통해 대용량 기판을 쉽게 처리할 수 있습니다. 이는 제조, 연구, 개발에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 이상적인 자산입니다.
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