판매용 중고 SEDECO Vl-1522 #9093784

SEDECO Vl-1522 (Vl-1522) 는 고급 반도체 장치 제작을 위해 설계된 전용 턴키 웨이퍼 처리 장비로, 동시에 최대의 생산성과 최적의 결과를 제공합니다. VL-1522 의 모듈식 아키텍처 (Modular Architecture) 는 간편한 프로세스에서 복잡한 프로세스에 이르기까지 사용자의 요구를 충족하기 위해 최대의 유연성을 제공합니다. 이 시스템에는 200mm 공정 테이블에 200mm 웨이퍼 (wafer) 처리 기능이 포함되어 있으며, 처리 용도의 다양한 웨이퍼를 수용하는 다양한 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 제공하여 모든 유형의 응용 프로그램에 이상적입니다. SEDECO Vl-1522 는 고성능 웨이퍼 조작기 (wafer manipulator), 로봇 암 (robotic arm) 및 이중 진공 웨이퍼 전송 장치의 통합으로 인해 매우 높은 수준의 처리량을 제공합니다. 이 기계는 또한 사용자의 요구에 따라 최대 4 개의 도금 처리 탱크 (plated process tank) 또는 프로세스 모듈 (process module) 을 관리할 수 있습니다. Vl-1522 (Vl-1522) 에서 사용하는 고급 프로세스 제어 기술은 전체 프로세스 시간을 최소화하고 탁월한 균일성 (unifority) 및 수율을 제공합니다. SEDECO Vl-1522는 안정적이고 반복 가능한 프로세스 솔루션입니다. 고급 웨이퍼 레벨 온도 제어 도구는 0.1 ° C 정확도로 매우 정확한 프로세스 제어 및 환경 관리를 제공합니다. 이 때문 에, 금속, 산화물, 중합체, 기타 물질 의 빠른 열 부화, 확산, 산화 등 여러 가지 과정 에 자산 이 적합 하다. Vl-1522의 웨이퍼 로드 락 (wafer loadlock) 은 매우 깨끗한 환경을 제공하며 배경 압력은 1.33mbar입니다. 또한 0.5 ° C 의 정확도를 갖는 다중 영역 온도 제어 (multi-zone temperature control) 도 포함되어 있습니다. 이 컨트롤은 장치 제작에 매우 중요합니다. SEDECO Vl-1522는 대용량 애플리케이션을 위한 효율적이고 경제적인 솔루션입니다. 통합 센서, 자동화, 진단 기능을 통해 가동 중지 시간을 줄이고 향상된 생산 효율성을 제공합니다. 직관적이고, 사용자에게 친숙한 SEDECO 소프트웨어는 모델 매개변수를 완벽하게 제어하며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 대한 프로세스 사용자 정의를 허용합니다. 또한, 고객의 요구 사항에 따라 향후 애플리케이션을 손쉽게 업그레이드할 수 있습니다.