판매용 중고 SC FLUIDS MEMS Dryer #141020

SC FLUIDS MEMS Dryer는 MEMS (micro-electromechanical system) 생산에 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 건조기는 SC Fluidic Technolgy의 특허를받은 가열 증기 기술을 사용하여 MEMS 제조를 건조시킵니다. 이 시스템은 매우 낮은 열 예산을 자랑하며, 건조시 예외적 인 균일성을 자랑합니다. 다공성 MEMS 웨이퍼 층의 가장 효율적이고 정확한 건조를 위해 설계되었습니다. MEMS 드라이어 (MEMS Dryer) 는 200 ~ 400mm 직경의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 완전 밀폐형 배치 처리 장치입니다. 기계는 깨끗하고 세균이없는 작업 환경을 제공합니다. 또한 최대 100 ° C의 온도에서 최대 650 mbar 의 압력을 유지 할 수있는 진공 공구가 특징입니다. 가열된 증기 기술은 물 분자를 기화시켜 웨이퍼 표면 (wafer surface) 이 건조하고 잔류 습기가 없습니다. 자산은 또한 자동화된 제어 (control) 와 경보 (alarm) 를 제공하여 원활한 자동화 및 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 운영자는 PLC 컨트롤러를 통해 건조 공정의 온도, 압력, 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 사용이 편리한 제어 기능 및 사용이 간편한 소프트웨어를 통해 이 모델을 더욱 간편하게 작동, 유지 관리할 수 있습니다. SC FLUIDS MEMS Dryer는 처리량이 많은 생산에 이상적입니다. 최대 800 웨이퍼/시간의 비율을 가지며, 자동 프로그램은 정확한 건조 매개 변수를 보장합니다. 이 장비에는 예기치 못한 사건 발생 시 긴급 셧오프 (Emergency Shoff) 를 위한 안전 스위치도 함께 제공됩니다. MEMS Dryer는 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 처리 시스템 중 하나입니다. 탁월한 정확성, 효율성 및 안전 조치를 제공합니다. 또한 뛰어난 안정성, 반복성 및 유연성을 자랑합니다. 이 시스템은 정확하고 안정적인 건조가 필요한 MEMS 제작에 적합합니다.