판매용 중고 SATISLOH PRA #293778135

SATISLOH PRA는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 결과를 제공하는 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 또한, 시스템을 동시에 여러 기능을 수행할 수 있도록 하는 단독적인 다기능 기능이 있습니다. 이 장치는 또한 높은 와퍼 (wafer) 수율을 생산할 수 있으며, 응용 프로그램에 따라 다양한 결과를 얻을 수 있는 유연성을 제공합니다. PRA 의 주요 구성 요소는 wafer loader, dispencer 및 wafer-strip station 을 포함한 프런트 엔드 툴 세트입니다. 각 공구 는 특별 한 목적 을 가지고 있으며, "서보 '" 로봇' 팔 로 기계 에 부착 되어 있다. 첫 번째 도구인 로더 (loader) 는 웨이퍼 스트립 플랫폼에 웨이퍼를 안전하게 배치하는 데 사용됩니다. 그런 다음 웨이퍼 스트립 스테이션 (wafer-strip station) 은 웨이퍼를 웨이퍼 디스펜서 (wafer dispencer) 에 공급합니다. 이 웨이퍼는 박막 재료를 분배하고 웨이퍼를 웨이퍼 얼굴에 균등하게 분산시킵니다. 다음 단계에는 공구의 핵심, 프로세서가 포함됩니다. 프로세서는 프로세서 주위에 배치된 여러 개의 개별 머신으로 구성됩니다. 여기에는 데이터 획득 및 처리 장치, 화학 유통 업체, 온도 조절 장치, 유량 모니터, 배출 어셈블리 등이 포함됩니다. 데이터 획득 및 처리 장치는 웨이퍼 처리 레시피를 처리합니다. 화학 유통 업체는 화학 물질의 유속 및 온도를 처리합니다. 온도 조절 장치 (Temperature Control Unit) 는 웨이퍼가 고르게 가열되도록 하고, 유속 모니터는 화학적 흐름의 속도를 모니터링합니다. 마지막으로, 배출 어셈블리는 처리된 웨이퍼를 제거하고 컬렉션 콘센트로 보냅니다. SATISLOH PRA는 또한 정확한 웨이퍼 처리 결과를 보장하는 자동 정정 자산을 갖추고 있습니다. 미리 정해진 표준에 맞지 않는 웨이퍼는 다시 웨이퍼 로더로 전송됩니다. 그런 다음, 웨이퍼 로더가 재활용 웨이퍼를 로드하여 프로세서를 보정하기 위해 프로세서에 공급합니다. 이 모델은 정확한 결과, 향상된 수율, 최소 수의 거부를 보장합니다. 마지막으로, 다양한 명령과 매개변수로 PRA 장비를 제어 할 수 있습니다. 웹 기반 인터페이스를 통해 운영자는 중앙 (Central) 프로세서에 액세스하여 시스템을 수동으로 제어할 수 있습니다. 처리 레시피를 설정 및 수정하고, 장치의 성능을 모니터링하고, 매개변수를 제어할 수 있습니다. 이 인터페이스는 또한 기계의 상태 (예: 현재 온도, 흐름 속도 수준, 웨이퍼-스트리핑 진행 상황) 에 대한 자세한 개요를 제공합니다. 전반적으로 SATISLOH PRA는 여러 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 자동 웨이퍼 처리 도구입니다. 이 기능을 사용하면 정확하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 자산은 웹 기반 인터페이스 덕분에 쉽게 액세스할 수 있으며, 운영자도 편리합니다. PRA (PRA) 는 기능과 성능 특성을 결합하여 웨이퍼 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.