판매용 중고 SATISLOH Blocker PRA #9302745

SATISLOH Blocker PRA는 다양한 고급 생산 자동화 기술을 포장하는 SATISLOH 가 개발한 웨이퍼 처리 장비입니다. 기판 코팅 및 도핑에서 다양한 웨이퍼 처리 단계 (예: 기계 연마, 습식 에치, 에치 경유, 화학 기계 연마 또는 습식 에치) 에 이르기까지 완전한 웨이퍼 생산 프로세스를 효율적으로 관리하는 솔루션을 제공합니다. 시스템의 핵심 기능은 자동 로드 (loading) 및 언로드 (unloading) 프로세스로, 장치의 다양한 처리 모듈 간에 빠르고 효율적인 웨이퍼 전송이 가능합니다. 따라서 가동 중지 시간이 줄어들고 웨이퍼 생산의 처리량이 높아집니다. 블로커 PRA (Blocker PRA) 에는 생산 라인을 따라 각 웨이퍼의 위치를 추적하여 최고 품질을 보장하는 정교한 센서 머신도 포함되어 있습니다. 이 도구는 다른 웨이퍼 처리 작업을 위해 최대 1 만 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 자산은 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있도록 모듈식 (modular) 설계를 통해 얻을 수 있습니다. 이 모델은 다양한 제어 기술을 사용하여 웨이퍼 클리닝, 기계/화학 연마, 에칭, 평면 측정, 검사 등 다양한 프로세스를 지원합니다. 게다가, 장비는 또한 운영 기록, 데이터 보고서, 프로세스 추적성을 저장할 수 있습니다. 고급 시각화 기능도 지원합니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 를 사용하여 운영자는 장치의 다양한 매개변수 및 기타 속성을 모니터링, 제어 및 조정할 수 있습니다. 또한 GUI 를 사용하면 다양한 wafer 처리 작업에 대해 다양한 레시피를 쉽게 설정할 수 있습니다. 마지막으로, SATISLOH Blocker PRA는 안전을 염두에두고 설계되었으며, 자동 정지 (Automatic Halts) 및 긴급 종료 (Emergency Shuts) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 가장 민감한 프로덕션 작업의 경우, 기계에는 안전성을 보장하기 위해 광학적으로 분리 된 모니터링 도구 (optically isolated monitoring tool) 도 포함되어 있습니다. 결국, Blocker PRA는 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 현대적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 유연한 설계와 고급 자동 프로세스로 운영 다운타임을 줄이고 높은 품질을 보장합니다. 또한, EMC 는 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 및 대규모 운영 애플리케이션을 모두 지원하는 최적의 솔루션입니다.