판매용 중고 SARTORIUS TOWER QRJ #9215490

SARTORIUS TOWER QRJ
ID: 9215490
System.
SARTORIUS TOWER QRJ는 고정밀도 및 초소형 반도체의 다중 레벨 조립, 테스트 및 포장을 위해 특별히 설계된 고급 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 반도체 제작 라인에 사용되는 높은 처리량 시스템에 이상적인 솔루션입니다. TOWER QRJ는 여러 가지 고급 기술을 활용하여 최고의 성능을 제공합니다. 반톤 모듈식 타워 (half-ton modular tower) 또는 컴팩트 한 프레임 시스템 (compact single-frame system) 옵션이 있는 모듈식 설계를 통해 다양한 프로세스 크기를 수용할 수 있습니다. 또한 처리하는 동안 웨이퍼 정확성을 보장하는 고정밀 3D (3D) 비전 기술이 특징입니다. SARTORIUS TOWER QRJ 는 유연성이 뛰어난 고속 모듈식 옵션으로, 주기 시간과 비용을 최소화하면서 제품 변경 작업을 단순화합니다. 통합 고속 웨이퍼 (high-speed wafer) 정렬 및 처리 기능을 통해 매우 효율적이고 정확한 웨이퍼 정렬, 로드 및 언로드가 가능합니다. "로봇 '암 은 사용자 의 필요 에 따라 쉽게" 웨이퍼' 동작 을 조정 하도록 "프로그램 '될 수 있다. 또한, 이 장치에는 정확한 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝을 위한 자동 정렬 기능이 포함되어 있어 효율성과 품질을 극대화할 수 있습니다. TOWER QRJ는 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어하여 각 웨이퍼에 대한 일관된 결과를 보장합니다. 통합 센서 배열로, 기계는 압력, 온도, 습도와 같은 변수에 대한 실시간 정보를 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 최적의 통합 및 자동화를 위해 스마트 프로세스 제어 알고리즘을 제공합니다. SARTORIUS TOWER QRJ 의 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 통해 동일한 장치에서 다양한 웨이퍼 처리 단계를 손쉽게 수행할 수 있습니다. photoresist 코팅, 광학 검사, 청소 및 드라이 에칭과 같은 인쇄 프로세스를 지원합니다. 통합 더미 웨이퍼 소스를 사용하면 단일 웨이퍼 처리를 통해 웨이퍼 수명이 길어집니다. 마지막으로, TOWER QRJ는 직관적 인 사용자 인터페이스를 특징으로하여 작동과 기계를 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 자산은 또한 슬립 (slip), 단회로 (short-circuiting), 걸린 모터 및 처리 중에 발생할 수있는 기타 오작동을 방지하기 위해 내장 안전 기능을 제공합니다. SARTORIUS 최고 품질과 안정적인 성능을 갖춘 SARTORIUS TOWER QRJ는 다중 레벨 웨이퍼 처리 및 패키징 요구 사항에 이상적인 선택입니다.
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