판매용 중고 RITEC BR-640 #293667694

RITEC BR-640은 반도체 및 MEMS 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 최대 6 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수있는 견고한 디자인을 갖추고 있으며, 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 프로세싱의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 이중 세차 터보 분자 (Dual Precession Turbo Molecular) 로 설계된 강력한 진공을 특징으로하며, 프로세스 챔버에 안정적이고 일관된 환경을 제공합니다. 또한 플라즈마 균일성을 향상시키기 위해 통합 자동 튜닝 모듈이있는 고급 플라즈마 제너레이터 (plasma generator) 가 특징입니다. 이 기계에는 챔버 (chamber) 에서 일정한 온도를 유지하도록 설계된 냉각 도구 (cooling tool) 와 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 더 잘 제어하기위한 별도의 초저압 조절기 (ultra-low-pressure regulator) 가 포함되어 있습니다. 증착 자산에는 다중 산화 (multiple oxidation) 및 증착 원 (deposition source) 이 장착되어 있어 광범위한 고급 프로세스 레시피를 처리 할 수 있습니다. 산화, 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD), 물리적 증착 (PVD), 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 이온 밀링을 포함한 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 프로세스 유연성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 복잡한 에칭 (etching) 및 증착 레시피 (deposition recipe) 를 프로그래밍할 수 있는 정교한 자동화 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 강력한 비전 유닛으로, 웨이퍼 표면의 고해상도 이미징을 제공합니다. 이를 통해 운영자는 각기 다른 무기 생산 단계를 손쉽게 모니터링할 수 있으며, 고품질 (High Quality) 제품을 보장할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 입자 제어 모니터링 (Advanced Particle Control Monitoring) 을 포함하며, 이를 통해 프로세스 전/중에 원치 않는 입자를 제거합니다. 이 도구는 간편한 사용 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 여기에는 통합 유지 보수 툴 (Integrated Maintenance Tools) 과 자동 클리닝 (Automatic Cleaning) 이 포함되어 있어 자산이 항상 최적의 상태인지 확인합니다. 또한 고급 진단 모델 (Advanced Diagnostics Model) 을 통해 운영자가 주요 문제를 일으키기 전에 잠재적인 문제를 빠르고 쉽게 파악할 수 있습니다. 전반적으로 BR-640은 반도체 및 MEMS 어플리케이션의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 (wafer) 처리 장비입니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 복잡한 프로세스 레시피를 위한 유연하고 강력한 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 사용 및 유지 보수가 용이하며, 고급 시각 장치 (Advanced Vision Unit) 와 입자 제어 모니터링 (Particle Control Monitor) 을 통해 프로세스 품질 및 효율성을 향상시킵니다.