판매용 중고 RICOR BS31A005A #9314241

RICOR BS31A005A는 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 최적의 성능과 내구성을 제공하는 안정성이 뛰어난 시스템입니다. 장치는 스캐너와 공정 챔버 (process chamber) 의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 기계의 주요 구성 요소는 광학 스캐너 (고정밀 x-ray focusing optics) 를 특징으로하는 정밀 스캐너) 입니다. 스캐닝 헤드 (scanning head) 에는 세밀한 세부 사항을 캡처하고 웨이퍼 표면에서 미묘한 결함을 감지 할 수있는 컬러 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 스캐너는 최대 25mm 두께의 직경 375mm (직경) 의 고속, 정확한 웨이퍼 서피스 스캐닝을 제공하도록 설계되었습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 스캐닝 헤드를 수용하도록 설계되었으며 다양한 특수 프로세스 모듈이 포함되어 있습니다. 고속 회전 디스크 테이블, 모션 스테이지, 난방 플랫폼, 진공 펌프 등이 장착되어 있습니다. 챔버 (chamber) 의 동작 단계는 기판 위치를 정확하게 제어하여 원하는 처리 매개변수를 달성 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 매우 정밀한 난방 플랫폼은 챔버 전체에 균일 한 온도 분포를 보장하여 웨이퍼 (wafer) 를 균일 하게 처리 할 수 있습니다. 또한, Wafer 처리 도구를 무단 액세스로부터 보호하기 위해 안전 잠금 (Safety Lock) 및 암호 인증 (Password Authentication) 과 같은 보안 기능이 설정되었습니다. 또한, 고급 데이터 로깅 (data logging) 및 분석 (analysis) 기능을 통해 데이터 프로세스 및 취합과 관련된 이벤트를 추적하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 결론적으로, BS31A005A는 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 자산입니다. 고속, 정확한 스캔, 균일 한 처리, 그리고 가장 중요한 것은 안전한 액세스가 특징입니다. 이 모델의 기능은 효율적이고, 안정적이며, 정확한 웨이퍼 처리를 위해 최적화되었습니다.