판매용 중고 PVA TEPLA / GEMETEC / HOLOGENIX WSPS-3 #9257414

PVA TEPLA/GEMETEC/HOLOGENIX WSPS-3 웨이퍼 처리 장비는 다양한 마이크로 일렉트로닉 장치 제작 프로세스를 지원하도록 설계된 고급 산업 도구입니다. 뛰어난 프로세스 레시피 라이브러리 (Library of Process Recipe) 를 갖춘 통합 로봇 시스템과 다양한 고급 프로세스 제어 기술을 갖추고 있습니다. 이 장치는 복잡한 전자 장치 (electronic and photonics device) 를 효율적이고 정확하며 반복적으로 생산할 수 있도록 최적화되었습니다. 이 기계에는 정확한 동작 제어 및 정확한 웨이퍼 위치/방향으로 180mm 웨이퍼 및 패턴 전송/증착 물질을 이동할 수있는 통합 3 축 로봇 처리 장치가 포함되어 있습니다. 또한 3 개의 챔버와 일치하는 웨이퍼 트랜스퍼 챔버 (wafer transfer chamber) 를 제공하여 정확한 온도, 압력 또는 진공 제어를 허용합니다. 이 도구에는 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 프로그래밍 및 데이터 획득 소프트웨어 패키지가 있으며, 마스크 정렬, 증착, 산화 에치, 저항 개발, 습식 및 건조 클리닝, 레이저 패턴 및 추가 정의 프로세스 시퀀스의 통합을위한 프로세스 레시피를 쉽게 설정할 수 있습니다. 통합 제어 자산 (Integrated Control Asset) 은 정밀한 프로세스 제어 및 반복 가능한 결과를 보장하도록 설계되었으며, 이를 통해 최고의 성능과 생산성을 보장할 수 있습니다. 마스크 제작뿐만 아니라 증착, 정렬, 광학 에칭을 완전히 자동화 할 수 있습니다. 최대 48 개의 단일 또는 트윈 펄스 프로세스, 여러 챔버에 대한 가변 주파수 제어, 가변 시간 제어 기능 및 입자 필터레이션이 있습니다. 레이저 리소그래피 기능에는 Gen2 레이저 패턴, 대체 레이저 패턴 및 낮은 k 유전체 에칭이 포함됩니다. 이 모델은 또한 시각적 검사 장비를 통해 고급 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. GEMETEC WSPS-3에는 안전 하네스, 모든 프로세스 모듈 및 기계 컴포넌트의 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼과 같은 뛰어난 안전 기능도 있습니다. 저전압 작동, 최소 발열량 (minimal heat output), 높은 성능 수준과 같은 특정 기능으로 높은 정확도 요구 사항을 충족합니다. 열 분배 개선 및 레이어 균일성 개선을위한 탁월한 열 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 자동 측정 장치 (automated measurement instruments) 와도 호환되므로 복잡한 웨이퍼 처리에 적합합니다.