판매용 중고 PROCESS SYSTEMS INTERNATIONAL 1410 #9187014
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PROCESS SYSTEMS INTERNATIONAL 1410은 특수 응용 프로그램 및 고출력 생산을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 매우 높은 수율과 처리량을 유지하면서 최대 300mm 직경의 모든 크기 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 웨이퍼 (wafer) 재료와 기판을 사용하여 작동할 수 있으며, 다양한 프로세스의 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 기계는 고급 디지털 온도 컨트롤러 (advanced digital temperature controller) 를 사용하여 웨이퍼 온도를 정확하게 제어하여 열 처리 (thermal processing) 및 열/CMC 확산을 포함한 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 고급 서보 드라이브 에셋 (advanced servo drive asset) 이 장착되어 있어 처리 중 웨이퍼와 기판을 정확하고 일관되게 이동할 수 있습니다. 이 통합 프로세스 제어 (Integrated Process Control) 및 고급 생산 자동화 (High-Level Production Automation) 는 웨이퍼 처리 시 균일성과 반복성을 제공하며 설정 및 조정 시간을 대폭 단축합니다. 이 모델은 또한 효율적인 통합 프로세스 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 전체 하위 시스템은 완전히 계기화되고 계측된 환경 제어 (environmental control) 를 갖춘 독립된 청정실 등급 캐비닛에 보관되어 있습니다. 이 통합된 설치 프로그램을 사용하면 혹독한 환경에서도 편리하고 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 전문 하드웨어와 소프트웨어를 활용하여, 프로세싱 전, 중, 후에 웨이퍼 (wafer) 및 기판의 이미지를 캡처하고 분석할 수 있어 높은 수율과 프로세스 정확성을 보장하는 정확한 데이터 통찰력을 제공합니다. 전체적으로, 1410은 풍부한 기능의 고성능 웨이퍼/기판 처리 장치로서, 처리량이 많은 어플리케이션과 특수 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어, 통합 프로세스 환경, 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 기능을 갖춘 이 시스템은 제조 및 연구 목적으로 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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