판매용 중고 PNT 15C-HS-IRU-800 #9308424

PNT 15C-HS-IRU-800은 최신 집적 회로에 대한 정밀 기판의 고효율 제작을 지원하도록 설계된 전문 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 15 인치 웨이퍼 캐리어 장치, HS-IR (Multiple-Zone High Speed Infrared Heating) 램프 및 처리 중 온도 및 습도 조건을 정확하게 제어 할 수있는 폐쇄 루프 냉각기가 장착되어 있습니다. 15C-HS-IRU-800 도구의 핵심은 고정밀 난방/냉각 자산입니다. 이 모델은 최대 900 ° C의 균일 한 가열을 제공하는 쿼츠 적외선 (QIR) 히터와 최대 1,200 리터/분의 냉각수 흐름을 갖춘 고류 냉각 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 로 자동화되어, 연산자는 몇 가지 간단한 명령으로 모든 매개변수를 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 폐기물 수집 장치 (Automatic Waste Collection Machine) 와 히트 맵 (Heat Map) 및 웨이퍼 언더사이드의 실시간 검토를위한 3D 모델 뷰어 (3D Model Viewer) 가 있습니다. PNT 웨이퍼 캐리어 도구는 밀봉 처리 챔버에 싸여 있으며, 정확한 기판 동작을 위해 10 미크론 해상도를 특징으로합니다. 최대 15 "웨이퍼를 지원하며 더 큰 기판에 쉽게 업그레이드 할 수 있습니다. 캐리어 자산은 원형 또는 직선 동작과 같은 여러 응용 프로그램 모드를 지원합니다. 또한 다양한 기판 모양과 특정 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 모델을 사용하면 다중 영역 및 다각도 난방/냉각 작업이 가능합니다. HS-IR 램프는 각 구역에 대해 독립적으로 제어하여 최대 900 ° C의 고출력 균일 한 가열을 제공합니다. 램프는 환경 조건 (예: 습도) 에 민감하며, 장비는 가열 과정을 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 더 높은 온도를 위해 추가 중앙 난방 (central heating) 옵션이 장착 될 수도 있습니다. PNT 15C-HS-IRU-800 (PNT 15C-HS-IRU-800) 은 최고의 품질과 정밀 웨이퍼 제작을 지원하도록 잘 제작되고 철저하게 테스트된 장치입니다. 고효율 처리, 정밀 제어 및 안정적인 성능을 제공합니다. 이 시스템에는 무상수리 기간 연장 및 포괄적인 기술 지원 패키지가 제공됩니다. 이 도구는 고정밀 웨이퍼 처리가 가장 중요한 집적 회로 (integrated circuit) 제작에 이상적입니다.