판매용 중고 PERKIN ELMER / WALLAC Trilux Microbeta 1450 #195143

PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450은 최고 수준의 성능과 안정성을 염두에두고 설계된 최첨단 다른 웨이퍼 처리 장비입니다. 신뢰성 있고 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 처리를 위해 3 축, 고정밀, 공압 작동 웨이퍼 전송 로봇이 특징입니다. 로봇은 XY 및 Z 평면 모두에서 웨이퍼 회전을 허용하도록 독특하게 설계되었습니다. 이 기능은 최고의 유연성을 제공하며, 시스템을 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있게 해 줍니다. 그 에 더하여, "로봇 '은 속도 를 상실 하지 않고 정확 한 정확성 과 이동 의 반복성 을 보장 하기 위하여 최적 속도 로 움직 이도록" 프로그램' 될 수 있다. WALLAC Trilux Microbeta 1450에는 여러 가열된 독립 구역을 사용하는 고급 열 처리 스테이션이 장착되어 있습니다. 또한 전용 표면 획득 스테이션 (surface acquisition station) 으로 설계되어 척 온도 및 처리 매개변수 (예: RF 전원 및 바이어스) 를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 기능은 탁월한 균일성과 생산성을 달성하는 한편, 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다. 또한 PERKIN ELMER Trilux Microbeta 1450은 정밀하고 자동화 된 액체 분배 스테이션을 제공하여 액체 화학 물질을 안정적이고 반복적으로 분배합니다. 이 기능을 사용하면 화학 에칭 (chemical etching), 표면 처리 (surface treating), 코팅 (coating) 과 같은 다양한 습식 프로세스에 단위를 사용할 수 있습니다. 마지막으로, Trilux Microbeta 1450은 시력 향상 된 정확도 검사를 통해 종합적인 웨이퍼 품질 제어에 결정적인 결과를 제공합니다. 전반적으로 PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450은 높은 처리량 및 고정밀 작동을 위해 이상적인 다른 웨이퍼 처리 기계입니다. 로봇 웨이퍼 (robotic wafer) 전송, 고급 열 처리 스테이션, 액체 분배 스테이션 및 시력 향상 정확도 검사는 모두 최고 수준의 신뢰성을 제공하는 데 기여합니다. 이 도구는 반도체, 전자 제품 제조, 태양광 발전, 바이오 메디컬 엔지니어링 등 다양한 업종의 응용 분야에 적합합니다.