판매용 중고 OMEGA CN-9000A #123431

OMEGA CN-9000A (Multi-Function Wafer Processing) 장비는 다양한 어플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 기능을 제공하는 다기능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 컨트롤러에는 최대 5 개의 다른 웨이퍼 전송 (wafer transport) 및 처리 모듈 (processing module) 을 제어하고, 최적화된 생산을 위해 필요한 기능을 수행할 수 있는 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 반도체 및 박막 생산 공정에 사용하기 위해 설계되었으며 실리콘, 질화물, 폴리 실리콘 (polysilicon) 과 같은 재료 처리 및 미크론 규모의 기질 얇아질 수 있습니다. 이 기계는 한 번에 최대 200mm 8 개의 베어 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 총 프로세스 속도는 시간당 최대 1,400 개의 웨이퍼입니다. 최대 웨이퍼 두께는 6mm이고 최소 두께는 150 미크론입니다. 이 시스템에는 다양한 정밀 공정이 가능한 고정밀 6 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 청소, 연마, 코팅 등 특수 처리 도구를 수용 할 수있는 4 개의 독립 클러스터 모듈이 장착되어 있습니다. CN-9000A 는 다양한 기능을 제공하며, 이를 통해 사용자는 운영 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. CMP (chemical-mechanical planarization), PECVD (plasma-enhanced vapor deposition), 이온 이식, 열 처리 등을 포함한 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 그 에 더하여, 기계 는 "실리콘 '과" 티타늄' 에서 금속 과 합금 에 이르는 여러 가지 물질 을 처리 할 수 있다. 오메가 (OMEGA) CN-9000A (CN-9000A) 는 정확하고 일관된 생산을 위해 웨이퍼와 운영자의 안전을 보장하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구는 공장 수준의 충격 (shock-level shock) 및 진동 감지 자산 (vbration sensing asset) 과 다양한 모델 장애를 감지할 수있는 다른 내장 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 장비에는 다양한 자가 진단 (self-diagnostic) 및 탐지 (detection) 기능이 있어 높은 수준의 정확성과 정확성을 제공합니다. 전반적으로 CN-9000A 는 견고하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템으로, 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족하는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 제품은 반도체 (semiconductor) 및 박막 (thin film) 생산 프로세스에 사용하도록 설계되었으며, 최대 5 개의 다른 웨이퍼 전송 및 처리 모듈을 제어 할 수있는 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 운영자의 안전과 일관된 생산을 보장하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다.