판매용 중고 OLEE CD-7820A #9401121
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OLEE CD-7820A는 산업 운영을 최적화 및 능률화하기 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 표준 및 전기 전도성 웨이퍼와 CMP 및 리소그래피 (lithography) 와 같은 특수 재료를 처리합니다. e-test, high-speed data mapping, wafer singulation, laser machining 등 다양한 옵션을 제공합니다. OLEE에는 최대 350mm 웨이퍼 크기, 사진 마스크 기판 및 플립 칩 처리 기능, 멀티 존 (multi-zone) 온도 제어 및 고속 데이터 조작 기능 등 다양한 기능이 제공됩니다. 이 장치에는 선택 가능하고 조절 가능한 구동 범위가있는 고급, 고정밀 모션 컨트롤 머신 (Motion Control Machine) 과 통합 카메라 툴 (Camera Tool) 이 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 진공 하류 (vacuum down-flow) 흐름 패턴을 중심으로 설계되었으며, 혁신적인 진공 이젝터를 장착하여 온도 균일성과 공정 목욕 효율을 모두 향상시키는 데 사용할 수 있습니다. 챔버는 지정된 공정 압력 범위 (0.25 - .5 Torrs) 로 높은 진공 환경에서 작동합니다. 올리 (OLEE) 는 또한 사용자 친화적이고 프로그래밍 가능한 인터페이스와 직관적인 머신 컨트롤 (machine control) 자산을 갖추고 있어 프로세스를 쉽게 사용자 정의하고 프로세스 제어를 향상시킬 수 있습니다. 외부 온도 제어 (External Temperature Control) 및 내부 온도 제어 (Internal Temperature Control) 를 위한 모듈이 함께 제공되어 대기 중 모든 핫스팟이 제어 상태를 유지하도록 합니다. 사용자는 속도 (velocity), 가속 (acceleration), 처리 시간 (process time) 과 같은 다양한 매개변수를 정의하고 선택할 수도 있습니다. 또한 CD-7820A는 보안 액세스 제어 모델 (Secure Access Control Model), 레이저 안전 연결 장치 (Laser Safety Interlock), 안전 잠금 장비 (Safety Locking Equipment) 및 프로세스 작업 및 성능을 모니터링하는 센서 배열 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 중앙 제어 워크스테이션 (옵션) 과 사용자 친화적인 소프트웨어 (단위 운영 및 유지 관리 단순화) 를 제공합니다. OLEE CD-7820A 는 포괄적인 서비스/지원 패키지를 제공하므로, 사용자는 언제든지 안정적이고 효율적인 성능을 보장할 수 있습니다. 산업용 환경에서 고정밀도, 고성능 웨이퍼 (wafer) 처리가 필요한 모든 어플리케이션에 적합합니다.
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