판매용 중고 MODICON M100D #9058165

MODICON M100D (MODICON M100D) 는 다양한 실리콘 기반 구성 요소에 최고 수준의 정밀도 및 속도를 제공하도록 설계된, 중형 다목적 웨이퍼 처리 장비입니다. 효율적이고 안정적인 운영을 통해 메모리 기술, 고출력 (High Power) 태양광 장치, 마이크로프로세서 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다. M100D에는 4 개의 웨이퍼 처리 스테이션이 장착되어 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. 스테이션은 산 에치, 습식 에치, 드라이 에치, 반응성 이온 에칭 (RIE), 플라즈마 에치, 열 처리, 스퍼터 증착 등과 같은 다양한 공정 작업을 수행하도록 구성 될 수 있습니다. 이 시스템에는 최대 200 ° C의 정확한 온도 제어, 최대 + -200 볼트의 고전압 제어, 높은 정확도의 가스 분포 및 자동 웨이퍼 처리 장치가 포함됩니다. 반복 가능하고 정확하며 안정적인 결과를 얻기 위해 MODICON M100D는 강력한 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 의존합니다. 이는 입자 생성 및 수율 향상으로 빠르고 신뢰할 수있는 주기에 최적화되어 있습니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 통해 간편한 작업 및 유지 관리 (maintenance) 가 가능하며, 직관적인 설정 및 모니터링 프로세스를 통해 작업을 단순화할 수 있습니다. 다용도 웨이퍼 (Wafer) 처리 기능 외에도 M100D에는 고급 모니터링 시스템 (Advanced Monitoring System) 이 포함되어 있어 중요한 처리 매개변수에 대한 종합적인 모니터링 및 분석 기능을 제공하여 실시간 작업 (Real-Time Action) 을 통해 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 중요한 처리 매개변수를 기록하고 저장하는 통합 정보 머신 (Integrated Information Machine) 을 갖추고 있으며, 안전한 보기/제어를 위해 원격으로 액세스할 수 있습니다. MODICON M100D (MODICON M100D) 는 다양한 프로세스 매개변수를 통해 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족하는 확장 가능한 (확장) 운영 옵션을 제공합니다. 사용자 친화적 기능, 고급 진단 도구, 신뢰할 수 있는 주기 (cycle) 와 결합된 M100D는 다양한 고급 웨이퍼 처리 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.