판매용 중고 MKS Revolution Series #9103292

MKS Revolution Series는 다른 웨이퍼 처리를위한 완전한 통합 생산 플랫폼입니다. 프로세스 제어 및 프로세스 통합을 위해 설계된 레볼루션 시리즈 (Revolution Series) 는 오늘날의 발전하는 웨이퍼 프로세싱 (wafer processing) 요구 사항을 충족하는 다양한 구성에서 탁월한 성능과 향상된 안정성을 제공합니다. MKS 레볼루션 시리즈 (MKS Revolution Series) 플랫폼은 최신 하드웨어, 소프트웨어 및 기술을 결합하여 다른 모든 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 대한 완벽한 프로세스 제어를 제공합니다. Revolution Series는 와퍼 최첨단 생산을위한 통합 고온 빠른 열 처리 (RTP) 챔버를 갖추고 있습니다. 이 플랫폼은 매우 정확한 웨이퍼 (Wafer) 처리 조건과 처리량을 필요로 하는 어플리케이션에 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 매우 정확한 데이터 캡처 및 프로세스 실행 기능을 통해 Wafer Process Parameter 및 Performance 를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. MKS Revolution Series는 프로세스 최적화를위한 고급 기능도 제공합니다. 다중 감지 프로세스 모니터링 시스템 (multi-sensing process monitoring system) 은 다양한 프로세스 매개변수를 정확하고 포괄적으로 제어합니다. Revolution Series 에는 빠르고 안정적인 웨이퍼 작동을 위한 고급 메모리 관리 기능이 포함되어 있습니다. 고급 온도 제어 메커니즘은 공정 온도 (process temperature) 를 정확하게 제어하여 공정 중인 모든 웨이퍼 (wafer) 에서 온도가 균일합니다. 또한 MKS Revolution Series는 고급 플라즈마 에칭, 레이저 제거 및 마스킹 처리를위한 고출력 RF 발전기 모듈을 갖추고 있습니다. 고속 스위칭 RF 전원 공급 장치 (Fast Switching RF Power Supply) 를 통해 최대 20MHz의 실시간 전원 조정을 통해 프로세스 제어를 최적화하고 웨이퍼 성능을 최적화할 수 있습니다. 레볼루션 시리즈 (Revolution Series) 는 웨이퍼 처리 중 정확한 정렬을 위해 다양한 렌즈와 스테이지가 장착 된 독특한 고정밀 옵틱 툴셋을 갖추고 있습니다. 이 시리즈의 통합, 저전력 레이저는 뛰어난 웨이퍼 참여 정확도와 높은 정확도 펄스 제어를 제공합니다. 결합 된 웨이퍼 처리 및 처리 시스템은 최고의 품질 성능을 보장합니다. MKS Revolution Series는 최신 고성능 기타 웨이퍼 처리에 이상적인 플랫폼입니다. 강력한 기능을 통해 프로세스 안정성과 Wafer 처리 어플리케이션을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 강력한 디자인과 고급 기능을 갖춘 레볼루션 시리즈 (Revolution Series) 를 통해 다른 웨이퍼 프로세싱에 대한 높은 수익률과 낮은 소유 비용 (TCO) 을 실현할 수 있습니다.