판매용 중고 MKS / HPS Sealing rings #293818386

ID: 293818386
Outside diameter: ~128 mm Inside Diameter: ~ 98 mm.
MKS/HPS 실링 링 (Sealing Ring) 은 웨이퍼 처리 시스템, 특히 반도체 제조 응용 프로그램의 적절한 기능 및 성능을 보장하는 데 중요한 역할을합니다. 이러한 MKS 밀봉 링 (MKS Sealing ring) 은 웨이퍼 처리에 필요한 압력 수준을 유지하기 위해 시스템의 다양한 구성 요소 (예: 챔버, 밸브 및 플랜지) 사이에 진공 조임 밀봉을 만들도록 설계되었습니다. HPS Sealing 링은 고온, 부식성 화학 물질, 연마 입자 등 웨이퍼 처리 시스템 내에서 까다로운 작동 상태를 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 이 실링 링 (Sealing ring) 은 일반적으로 스테인리스 스틸 (stainless steel), 니켈 (nickel) 또는 부식 및 마모에 대한 뛰어난 내성을 나타내는 다른 합금과 같은 고순도 재료로 만들어집니다. 물개 링 (sealing ring) 의 재료 선택은 웨이퍼 처리 (wafer processing) 시 발생하는 가혹한 환경에서 장수와 신뢰성을 보장하기 위해 중요합니다. MKS/HPS 실링 링 (Sealing ring) 의 주요 특징 중 하나는 정밀 엔지니어링 및 단단한 공차로, 짝짓기 표면 사이의 누출이없는 밀봉을 보장합니다. MKS 밀봉 링 (MKS Sealing Ring) 의 디자인은 웨이퍼 품질에 부정적인 영향을 줄 수있는 오염 또는 입자 생성 위험을 최소화하면서 최대 밀봉 효과를 제공하도록 최적화되었습니다. 또한 HPS 실링 링 (Sealing Ring) 의 표면 마무리는 누출을 방지하고 깨끗한 처리 환경을 유지하기 위해 신중하게 제어됩니다. 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템에서는 고품질의 결과를 달성하고 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해 일관되고 안정적인 진공 (vacuum) 수준을 유지하는 것이 필수적입니다. 밀봉 링 (sealing ring) 은 외부 환경으로부터 처리 챔버를 효과적으로 분리하여 시스템 내부의 압력 조건을 정확하게 제어 할 수있는 자극 (hermetic seal) 을 생성하도록 설계되었습니다. 이 물범 은 "반도체 '제조 공정 의 무결성 을 저해 할 수 있는 원치 않는" 가스' 나 입자 의 섭취 를 막는 데 중요 하다. 웨이퍼 처리 시스템에 사용되는 MKS/HPS 밀봉 링 (Sealing Ring) 도 밀봉 무결성을 손상시키지 않고 잦은 온도 변동과 기계적 스트레스를 견딜 수 있어야합니다. MKS 밀봉 링 (MKS Sealing Ring) 은 웨이퍼 처리 장비 (Wafer Processing Equipment) 작동 중에 경험한 열 사이클링 및 기계식 로딩을 견딜 수 있도록 설계되어, 연장 된 서비스 수명에 대해 안정적이고 누출 된 인감을 계속 제공합니다. 또한, HPS 밀봉 링 (Sealing Ring) 은 손쉽게 교체할 수 있도록 설계되어, 웨이퍼 처리 작업 중 유지 관리 작업을 빠르고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 이러한 실링 링 (Sealing Ring) 의 모듈식 설계를 통해 설치 및 제거가 용이해지며, 운영자는 특수 도구 또는 교육이 필요 없이 밀봉 부품을 효율적으로 서비스할 수 있습니다. 전반적으로 MKS/HPS 밀봉 링 (Sealing ring) 은 웨이퍼 처리 시스템의 필수 구성 요소이며, 장비의 진공 무결성 및 성능을 유지하는 데 중요한 기능을 제공합니다. 강력한 구성, 정밀 엔지니어링 및 우수한 밀봉 기능을 갖춘 MKS 실링 링 (Sealing Ring) 은 반도체 제조 공정의 효율성, 안정성 및 품질에 기여하여 최적의 성능을 보장하고 웨이퍼 제작을 구현합니다.
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