판매용 중고 MKS ASTeX FI20620-1 #9204070
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MKS FI 20620-1은 다른 웨이퍼 처리 장비로, 웨이퍼의 처리량이 높습니다. 이 시스템은 웨이퍼 라이닝 (wafer thinning), 재료 증착, 습식 및 건식 에칭, 패턴 및 표면 처리와 같은 다양한 응용 프로그램을위한 모듈식 자동 플랫폼입니다. MKS FI20620-1 (MKS FI20620-1) 이 제공하는 효율적인 설계와 고급 프로세스 제어 기술을 통해 전례없는 수준의 처리량 및 신뢰성을 얻을 수 있습니다. FI 20620-1 (FI 20620-1) 은 원하는 프로세스의 다양한 단계에 대한 일련의 챔버를 포함하는 통합 장치입니다. 고급 컨트롤러 (High-End Controller), 모션 제어 팩 (Motion Control Pack), 그리고 특정 애플리케이션의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있는 일련의 처리 모듈로 구성되어 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 의 효율적인 대피를 위해 고가 진공 펌핑 스테이션도이 장치와 통합되어 있습니다. FI20620-1의 독특한 설계로 웨이퍼 처리의 처리량이 높습니다. 기계는 챔버 간 빠른 재료 전송을 위해 설계되었습니다. 또한, 원하는 출력에 따라 프로세스 설정을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이것은 고급 다이 투 다이 피드백을 사용하여 가능합니다. 이렇게 하면, 지정된 매개 변수가 처리 과정에서 정확하게 유지되며, 이를 통해 품질이 우수해집니다. MKS FI 20620-1 (MKS FI 20620-1) 의 모듈식 설계는 사용자가 필요에 따라 도구를 사용자 정의할 수 있도록 하는 장점입니다. 따라서 원하는 애플리케이션에 필요한 광 (optical), 물리적 (physical), 화학적 (chemical) 프로세스를 적절히 조합하여 선택할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 여러 진단 기능 (Diagnostic Function) 이 장착되어 있어, 사용자가 모델의 기능과 성능을 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장비는 사용자에게 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공합니다. 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템은 최고 안전 기준 (safety standard) 에 대한 인증을 받았으며, 이는 가공된 웨이퍼에 대한 오염 또는 손상 위험이 없도록 장치의 작동을 보장합니다. 또한, 이 기계는 오류, 사고 및 오작동을 방지하는 여러 가지 내장 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. 요약하자면, MKS FI20620-1은 안정적이고 효율적이며 처리량이 높은 기타 웨이퍼 처리 도구입니다. 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 와 모션 컨트롤 팩 (Motion Control Pack) 을 장착하여 웨이퍼를 처리할 때 높은 수준의 유연성과 정확성을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 자신의 특정 요구에 맞게 자산을 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 통합 안전 (Integrated Safety) 메커니즘을 통해 높은 수준의 안전성과 신뢰성을 사용자에게 제공합니다.
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