판매용 중고 MKS ASTeX FI20620-1 #9204069

MKS FI 20620-1은 다른 웨이퍼 처리 장비의 한 유형이며, 정밀 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 널리 사용됩니다. 이 시스템은 MKS 인스트루먼트 (MKS Instruments) 에 의해 제공되었으며, 이는 세계 최고의 분석 및 공정 제어 기기 제조업체 중 하나입니다. MKS FI20620-1은 올인원 (All-in-one) 장치이며, 웨이퍼 기반 처리를 위한 다양한 자동 처리 옵션과 통합된 싱글 암 로봇입니다. 이 도구의 기계 구성은 공기 실린더, 프레임 어셈블리 및 중앙 처리 장치 (CPU) 로 구성됩니다. 공기 실린더는 웨이퍼 처리 작업 중 마스크 및 웨이퍼 정렬에 사용됩니다. 최대 3 개의 작업을 병렬로 처리 할 수있는 싱글 암 (single-arm) 로봇이 있습니다. 프레임 어셈블리는 웨이퍼 처리 작업 중에 필요한 안전 보호 (Safety Protection) 를 제공합니다. CPU는 에어실린더 (air cylinder), 프레임 어셈블리 (frame assembly), 싱글암 로봇 (single-arm robot) 등 에셋의 모든 컴포넌트의 작업을 제어합니다. FI 20620-1의 기능에는 멀티 스테이지 진공 웨이퍼 처리, 스핀 에칭 및 사후 에칭, 다양한 OVF 청소 및 증착 프로세스, 웨이퍼 확인 등 다양한 자동 처리 작업이 포함됩니다. 또한 고급 웨이퍼 스캐닝 (wafer scanning) 및 분석 기능을 제공하며 데이터 획득 및 디스플레이 모델이 내장되어 있습니다. 또한, 장비는 안전 요소 (safety elements) 로 구성되어 시스템 작동 중 안전을 보장합니다. 결론적으로, FI20620-1은 다재다능하고, 안정적이며, 효율적인 웨이퍼 처리 장치이며, 정확한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 적합합니다. 생산성 향상을 위한 정교한 싱글 암 (single-arm) 로봇과 함께 최적의 안전을 위한 강력하고 강력한 공기 실린더 및 프레임 어셈블리를 갖추고 있습니다. 이 기계에서 제공하는 자동 처리 작업에는 광범위한 스핀-에칭 및 사후 에칭 (spin-etching and post-etching), OVF 클리닝 및 증착 프로세스, 고급 웨이퍼 스캐닝 및 분석, 내장 데이터 획득 및 디스플레이 도구가 포함됩니다. 따라서 MKS FI 20620-1은 정밀 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 자산입니다.