판매용 중고 MKS ASTeX FI20620-1 #9165071

MKS FI 20620-1은 고정밀도 및 고해상도 작동을 위해 설계된 고급 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 직경 300mm까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 안정성과 정밀성을 보장하기 위해 2 개의 독립 진공 시스템과 함께 4 개의 공정 챔버 (process chamber) 를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 각 웨이퍼를 최대 위치 정확도 5 미크론 (5 micron) 까지 정확하게 배치하고 검색 할 수있는 정밀 로봇 암이 있습니다. 이 시스템에는 DELTA® 라는 고급 그래픽 환경 제어 패키지도 있습니다. 이 제어 패키지 (Control Package) 에는 사용자가 특정 프로세스에 최적화할 수 있는 다양한 레시피 (Recipe) 와 설정 (Setting) 을 선택할 수 있는 다양한 기능이 들어 있습니다. 이 광범위한 기능을 통해 사용자는 단순하거나 복잡한 레시피 (레시피) 를 만들 수 있으며, 이를 통해 웨이퍼 (웨이퍼) 처리 레시피를 쉽게 최적화할 수 있습니다. MKS FI20620-1에는 다양한 정교한 웨이퍼 처리 옵션도 포함되어 있습니다. 여기에는 로드 중 웨이퍼를 고정하는 척 정렬 (chuck alignment), 자동 사전 정렬 (automatic pre-aligning) 및 패치 검사 (patch inspection) 와 같은 프로세스가 포함됩니다. 이 도구에는 사전 정렬 및 펠리클 검사 기능도 포함되어 있으므로, 프로세스 레시피는 정렬 요구 사항을 포함하도록 조정할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 프로세스 안정성, 항복, 처리량을 최적화하기 위해 설계된 다양한 특수 기능을 자랑합니다. 여기에는 wafer on-axis 프로파일 오류 모니터링, 프로세스 기본 환경 안정화, 프런트 엔드 (front-end-of-the-line) 에서 프로세스 안정화를 위한 압력 제어 및 2 차 추적 등 향상된 웨이퍼 감지 프로그램이 포함됩니다. 전반적으로, FI 20620-1은 강력하고 정확한 다른 웨이퍼 (wafer) 처리 모델로, 사용자가 복잡한 레시피를 만들고 프로세스 최적화를 통해 향상된 수율 및 처리량을 제공합니다. 이 장비는 다양한 정교한 웨이퍼 처리, 오프 축 정렬, 사전 정렬, 펠리클 검사 기능과 더불어 향상된 웨이퍼 감지 프로그램 (Wafer Sensing Program) 을 통해 정확하고 높은 처리량을 제공하는 최적의 옵션을 제공합니다.