판매용 중고 MKS ASTeX FI20620-1 #9165070

MKS FI 20620-1은 반도체 산업의 습식 화학 공정에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 여러 웨이퍼를 동시에 처리하기위한 독특한 FIP (flow-in-place) 설계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기존의 단일 웨이퍼 처리 시스템에 비해 처리량을 늘리고 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 이 장치는 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 한 번에 최대 15 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 공정 탱크, 이체 암, 분배 장치, 컨트롤러, 전원 공급 장치 및 필터/조정기로 구성됩니다. 공정 탱크는 고품질의 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 효율적인 공정 주기를 위해 밀봉됩니다. 탱크 내부에는 채널을 연결하는 일련의 개별 챔버가 있습니다. 이송 암 (transfer arm) 은 웨이퍼를 한 챔버에서 다음 챔버로 옮기는 데 사용됩니다. 분배 장치 (Dispense Unit) 는 처리하기 위해 원하는 화학 물질을 프로세스 탱크의 정확한 위치에 정확하고 정확하게 분배하는 데 사용됩니다. 제어기는 도구의 "뇌 (brain)" 이며, 전사 암의 운동, 공정 탱크의 온도, 공정 화학 및 진공 압력의 조정을 담당합니다. 이렇게 하면 프로세스가 가장 정확하게, 그리고 가장 반복적으로 수행됩니다. 또한 컨트롤러 (controller) 를 사용하여 프로세스 진행 상황을 모니터링하여 결과의 일관성을 높일 수 있습니다. MKS FI20620-1은 또한 자산에 안정적인 전압 및 전류를 제공하는 고급 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 프로세스가 일관성이 높고 효과적으로 수행됩니다. 필터/조절기 (filter/regulator) 는 또한 프로세싱하는 동안 정확한 가스, 온도, 압력 및 진공 수준이 최대한의 신뢰성을 위해 달성되도록 돕는 중요한 구성 요소입니다. FI 20620-1 (FI 20620-1) 은 반도체 산업의 습식 화학 공정에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 모델입니다. 처리량, 정확도, 반복성 향상을 위한 독보적인 FIP 설계가 적용되었으며, 한 번에 최대 15 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Supplies) 와 신뢰성 있는 전압 및 장비의 전류를 위한 필터/조정기 (Currenter/Regulator) 를 갖추고 있으며 정확한 가스, 온도, 압력 및 진공 수준이 달성됩니다. 이 시스템은 다양한 반도체 프로세스에 강력하고 효율적인 도구입니다.