판매용 중고 MKS / ASTEX Astron ex #293647823

MKS/ASTEX Astron ex는 리소그래피 및 도금을 포함하여 가장 까다로운 프런트엔드 및 백엔드 애플리케이션을 위해 설계된 정밀 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 가장 엄격한 정확성 요구 사항을 충족하면서 유연성, 높은 처리량, 작은 설치 공간을 제공합니다. MKS Astron ex는 표준, 사용자 정의, 초고밀도 웨이퍼 등 모든 유형의 웨이퍼를 수용할 수 있는 다양한 프로세스 모듈을 제공합니다. ASTEX Astron ex는 직관적 인 터치 스크린 인터페이스를 통해 쉽게 작동합니다. 혁신적인 8 스테이션 배치 처리 기술로 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 정밀 다축 동작 기능을 통해 기계는 +/- 0.6 "m 의 정밀도와 +/- 0.4" m 의 두께 정밀도로 패턴 정렬에서 서브 미크론 정밀도를 달성 할 수 있습니다. Astron ex의 고유 한 기능에는 웨이퍼 중심의 자동 정렬, 자동 초점 제어, 동적 얼굴 감지 및 정렬, 자동화된 체계적인 오버 스캐닝이 포함됩니다. 장치 운영자는 프로세스 전이나 도중에 각 웨이퍼의 정렬을 객관적으로 검사하고, 들어오고 나가는 웨이퍼 (wafer) 에 대한 오염량을 제어할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 높은 정확도 도금, 웨이퍼 투 웨이퍼 네트워킹, 오염 방지 단계, 다중 웨이퍼 처리 시스템 등 다양한 고급 모듈 (옵션) 기능을 통해 설계되었습니다. 또한 MKS/ASTEX Astron ex (MKS/ASTEX Astron ex) 의 모듈식 설계를 통해 업그레이드 및 기능을 쉽게 추가할 수 있으며, 특정 요구에 맞게 시스템을 신속하게 구성할 수 있습니다. MKS 아스트론 엑스 (Astron ex) 의 고급적이고 견고한 도구를 통해 제조업체는 안전하고 효율적인 방법으로 뛰어난 반복성과 균일성을 갖춘 고밀도 반도체 장치를 처리 할 수 있습니다. 모듈식 설계와 직관적인 작동으로 인해 가장 도전적이고 복잡한 웨이퍼 (wafer) 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.