판매용 중고 MKS 1153A #77147

MKS 1153A는 MKS Instruments Inc.에서 생산 한 최첨단 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼에 집적 회로 (integrated circuit) 와 MEMS (MEMS) 장치를 생성하는 데 필요한 시간과 수작업을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 경제적이고 사용자에게 친숙한 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 이 장치는 견고한 프레임과 사용자 친화적 인 터치 스크린 컨트롤러로 구성됩니다. 최소 200 나노 미터 크기의 집적 회로와 최소 10 나노 미터 크기의 MEMS 장치를 생성 할 수 있습니다. 이 기계에는 정밀하고 반복 가능한 움직임이 가능한 강력한 3 축 로봇 팔이 있습니다. 스테퍼 모터는 초당 최대 6 미터의 속도로 0.5 미크론의 위치 정확도로 팔을 움직일 수 있습니다. 이 도구는 또한 정밀 온도 제어 에셋을 사용하여 웨이퍼 프로세스 (wafer process) 동안 정확한 온도 제어를 보장합니다. 1153A는 정확하고 안정적인 프로세스 제어를 위해 여러 개의 진공 및 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 진공 및 가스 전달 시스템은 부피, 유속, 압력, 전도성과 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 조작하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 모델은 실리콘, 유리, 도자기, 금속, 다양한 에친트, 플라즈마, 화학 물질을 포함한 다양한 기질과 함께 사용될 수 있습니다. 이 장비에는 여러 개의 경보 및 안전 차단 기능을 갖춘 고급 모니터링 및 안전 시스템 (Advanced Monitoring and Safety System) 이 있습니다. MKS 1153A는 집적 회로 및 MEMS 구성 사업에 이상적인 솔루션입니다. 정확하고, 반복 가능하며, 효율적인 성능은 다양한 wafer 처리 기술에 이상적입니다. 이 장치는 기존 회로 및 MEMS 구성 사업에 매우 안정적이고 비용 효율적입니다.