판매용 중고 MKCNDT Ultraman-332 #293667697
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MKCNDT Ultraman-332 (MKCNDT Ultraman-332) 는 Wafer 처리 요구를 충족하는 다용도, 신뢰성, 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 첨단 Wafer 처리 장비입니다. Ultraman-332 시스템은 Wafer Conveyor Unit, Robot Cell 및 Hotplate의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 컨베이어 머신 (Wafer Conveyor Machine) 은 로드 및 언로드 작업 중 웨이퍼를 안전하게 처리하도록 설계되었습니다. 카세트에 최대 20 개의 단일 웨이퍼 또는 8 개의 더블 웨이퍼를 적재 할 수 있으며, 웨이퍼 직경은 1.8 ~ 6 인치입니다. 웨이퍼 컨베이어 도구 (Wafer Conveyor Tool) 는 시간당 최대 200주기의 속도로 웨이퍼를 로봇 셀 (Robot Cell) 에 정확하게 전달할 수 있습니다. 로봇 셀 (Robot Cell) 은 MKCNDT Ultraman-332 자산의 주요 구성 요소로, 다른 웨이퍼 처리의 다양한 단계를 통해 웨이퍼를 이동하도록 설계되었습니다. 웨이퍼가 로봇 셀 (Robot Cell) 에 로드되면 Brushless DC 서보 모터로 구동되는 Wafer Indexer를 사용하여 인덱싱됩니다. 그런 다음 웨이퍼는 웨이퍼 로봇에 의해 핫 플레이트 챔버 (Hotplate Chamber) 로 옮겨지며, 브러쉬리스 DC 서보 모터에 의해 구동됩니다. 핫플레이트 (Hotplate) 는 독립형 단위로 설계되었으며, 크기와 재료가 다른 다양한 웨이퍼 조합을 가열하고 식히는 데 사용될 수 있습니다. 핫 플레이트 (Hotplate) 는 전기 연마, 청소, 에칭, 본딩 및 드릴링과 같은 다른 웨이퍼 처리 작업을 수행하는 데 사용될 수도 있습니다. 핫 플레이트의 온도 범위는 4 ~ 500 ° C이며 정밀 온도 제어는 ± 1 ° C입니다. Ultraman-332 모델은 유지 보수 요건이 낮은 24/7을 작동하도록 설계되었으며 부품 및 구성 요소에 대한 1 년 제한 보증이 지원됩니다. MKCNDT Ultraman-332 (MKCNDT Ultraman-332) 는 상업, 산업 및 연구 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 업계 표준 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 빠른 생산 처리 시간과 뛰어난 웨이퍼 품질 출력을 제공합니다.
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