판매용 중고 MICROSENSE EZ 11 #9151871

마이크로센스 EZ 11 (MICROSENSE EZ 11) 은 제조 프로세스에 대한 정밀하고 엄격한 제어를 위해 사용되는 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 정확성 과 정확성 을 위해 매우 정확 한" 서보 모터' 를 갖추고 있다. 초고속 열 처리 (Ultrafast Thermal Processing) 를 제공하여 기능을 향상시키기 위해 사용자정의 매개변수에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 간단하고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 그 틀 은 "알루미늄 '틀 로 되어 있으며, 이것 은 처리 중 에" 웨이퍼' 를 유지 하는 데 사용 되는 두 가지 수준 의 지지 를 받는다. 기계는 스테인리스 스틸 콜드 플레이트 (Stainless Steel Cold Plate) 와 열 공정을 위해 가열 된 플레이트를 갖추고 있습니다. 하나 또는 여러 개의 샘플 단계를 원하는 응용 프로그램 (application) 을 기반으로 시스템에 통합할 수 있습니다. 툴에는 스위치, 표시기, 경보, 비상 정지 (Emergency Stop) 등으로 구성된 작동 패널이 포함되어 있습니다. 자산에는 모터 제어 장치 (motor control unit) 가 장착되어 있어 처리 과정에서 정확한 반복성과 정확성을 보장합니다. 모터는 동시 회전 및 변환 (translation) 과 같은 다양한 이동을 허용하며, 이를 통해 반복 가능한 자동 작업이 가능합니다. 서보 모터 제어 (servo motor control) 는 외부 환경 조건에 관계없이 일관된 작동을 보장하기 위해 사용됩니다. 이 모델에는 가열 및 냉각 목적으로 조정 가능한 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 온도 범위는 0 ~ 550 ° C이며 온도 컨트롤러는 열린 루프 (open-and closed-loop) 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. 사용자정의 매개변수를 설정하여 최대 열 균일성을 보장할 수 있습니다. 이 장비에는 고속 디지털 신호 프로세서 (High-speed Digital Signal Processor) 도 장착되어 있어 빠른 제어 가능한 열 생산을 용이하게합니다. 디지털 신호 프로세서 (digital signal processor) 는 각 개별 공정에 대한 온도 주기 및 열 경사 기간 (thermal ramping period) 의 타이밍을 조절하는 데에도 사용됩니다. 시스템의 사용자 인터페이스 (user interface) 에는 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 가 설치되어 있어 프로세스의 매개변수를 설정하고 조정할 수 있습니다. 다양한 수학 모듈 (math module) 도 포함되어 있으며, 이 데이터는 제공된 데이터를 사용하여 프로세스와 관련된 열 그라디언트 및 기타 매개변수를 정확하게 계산합니다. 이 장치에는 전원 장애 시 자동 종료 프로세스 (automated shutdown process in the power failure) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 다른 안전 기능으로는 과열 방지 머신 (over-heating protection machine) 이 있으며, 최적의 성능과 향상된 도구 수명을 보장하도록 프로그래밍할 수 있습니다. EZ 11은 탁월한 성능과 유연성을 보장하는 안정적이고 사용하기 쉬운 자산입니다. 일반 처리, 배치 처리, 결정 성장, 전기 도금, 박막 처리 등 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 적합합니다.