판매용 중고 MICROCONTROL PFM #9178488

ID: 9178488
Taping silicon wafer system.
MICROCONTROL PFM (Photo-Flood Materials Processor) 은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 집적 회로 (Advanced Integrated Circuit) 와 최적화되고 최적화된 마이크로일렉트로닉 장치 (Microelectronic Device) 의 정확한 제조를 정확하게 측정하고 보장할 수 있습니다. 이 장치는 MICROCONTROL의 Photo-Flood 시리즈 (Photo-Flood series) 의 최신 버전으로, 웨이퍼 제조 프로세스의 성능, 생산성 및 효율성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 고급 기능을 제공합니다. 단일 축 (single-axis) 및 이중 축 (dual-axis) 구성으로 제공되며, 각각은 매우 정밀한 처리를 위해 하위 미크론 제어를 사용하여 웨이퍼의 고정밀 위치를 제공합니다. 이 구성은 이중/단일 레벨 설계에서 1.5 미크론 이하의 장치에 대한 제조 기능을 제공합니다. 마이크로 컨트롤러는 기계의 Mechatronics Advanced Control Architecture (Mechatronics Advanced Control Architecture) 를 기반으로하며, 빠르고 효율적인 매개변수 정의를 가능하게 하며, 가능한 응용 프로그램의 전체 범위에서 각 도구 축에 대한 고급 디지털 제어를 제공합니다. 이것은 직관적인 연산자 인터페이스 (Operator Interface) 를 보완하여, 성공적이고 반복 가능한 작동에 필요한 모든 작동 조건을 종합적으로 파악하고, 고정밀 반도체 제품을 신속하게 생산할 수 있습니다. 또한 PFM은 정밀 랩핑 및 머시닝용 그라인딩 모듈, 보안 및 기후 제어를 위한 보안 액세스 모듈 (Secure Access Module for Security and Climate Control), 각 웨이퍼의 실시간 프로세스 제어 및 품질 보증을 위한 품질 관리 모듈 (Quality Control Module) 등 다양한 특수 모듈을 갖추고 있습니다. 고급 레이저 도량형 시스템 (옵션) 도 사용할 수 있으며, 2 미크론 내에서 웨이퍼 치수의 높은 정확도를 측정합니다. MICROCONTROL PFM은 또한 마이크로 콘 트롤 (MICROCONTROL) 이 개발 한 다양한 독점 도구를 통해 더 높은 수율에 대한 정확한 온도 제어, 하위 미크론 장치 구조를 만들기 위해 최대 25 미크론 (micron) 의 하향면 또는 후면 평면 이온 밀링 (milling) 과 같은 고급 프로세스 제어를 가능하게합니다. PFM은 고성능, 종합적인 모듈, 도구를 통해 고급 반도체 제작을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.
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